苏州晶洲装备科技有限公司李晓波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶洲装备科技有限公司申请的专利一种刻蚀设备及其防爆方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114171438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111458981.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种刻蚀设备及其防爆方法是由李晓波;施利君;宋金林设计研发完成，并于2021-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀设备及其防爆方法在说明书摘要公布了：本发明属于刻蚀技术领域，公开了一种刻蚀设备及其防爆方法。该刻蚀设备包括刻蚀反应箱和储液箱，储液箱通过药液管路与刻蚀反应箱连通并形成循环通路，储液箱内设置有加热器、冷却盘管和多个温度传感器；储液箱的底部设置排液管，排液管上设置阀门，阀门被配置为在达到刻蚀设备预设的生产值或温度传感器报警时使排液管与储液箱连通，排空储液箱内的刻蚀药液。该刻蚀设备，通过药液管路在刻蚀反应箱和储液箱之间形成循环回路，能够提高刻蚀药液的利用率，同时能够有效监控刻蚀药液的温度，在刻蚀药液温度异常或者达到刻蚀设备预设的生产值时能够及时将储液箱内的刻蚀药液排出，防止发生爆炸。
本发明授权一种刻蚀设备及其防爆方法在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括： 刻蚀反应箱1； 储液箱2，通过药液管路3与所述刻蚀反应箱1连通并形成循环通路，所述储液箱2内设置有加热器4，所述加热器4能加热所述储液箱2内的刻蚀药液23； 所述储液箱2内还设置有冷却盘管5和多个温度传感器6，所述冷却盘管5内通冷却水，所述温度传感器6被配置为检测所述储液箱2内的温度； 当所述刻蚀药液23的温度超过第一设定值时，所述加热器4自动断电，同时向设置在所述储液箱2内的所述冷却盘管5通入冷却水； 当所述刻蚀药液23的温度超过所述第一设定值小于第二设定值时，向所述储液箱2内通入常温纯水24； 所述储液箱2的底部设置有排液管21，所述排液管21上设置有阀门211，所述阀门211被配置为在达到所述刻蚀设备预设的生产值或所述温度传感器6检测到所述刻蚀药液23的温度超过所述第二设定值，所述阀门211用于使所述排液管21与所述储液箱2连通，排空所述储液箱2内的所述刻蚀药液23。
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