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江苏徐工工程机械研究院有限公司蹤雪梅获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏徐工工程机械研究院有限公司申请的专利一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112831759B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110134697.1,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法是由蹤雪梅;刘威;冯森设计研发完成,并于2021-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法,装置包括引弧电极,包括有环形内侧面;引弧针,设置有若干个,若干引弧针均设置在所述引弧电极环形内侧面上;阴极靶,所述阴极靶包括圆台段,所述阴极靶设置在所述引弧电极内侧,且与所述引弧电极间隔设置,所述圆台段包括第一端面和第二端面,第一端面面积大于第二端面面积;所述引弧针端部与所述阴极靶接触;聚焦线圈,设置在所述引弧电极外围,所述聚焦线圈轴向与所述圆台段轴向平行或同轴;偏转线圈,用于调控电弧离子偏转路径;该装置或方法能够控制弧斑运动轨迹、减少大颗粒形成。

本发明授权一种磁场辅助阴极引弧装置及镀膜方法在权利要求书中公布了:1.一种磁场辅助阴极引弧装置,其特征在于: 包括: 引弧电极,包括环形内侧面; 引弧针,设置有若干个,若干引弧针均设置在所述引弧电极环形内侧面上; 阴极靶,所述阴极靶包括柱体段和圆台段,所述柱体段直径与所述圆台段第一端面直径相当,所述引弧针连接所述柱体段外壁;所述阴极靶的柱体段为中空结构,中空腔内流通有冷却液体;所述阴极靶设置在所述引弧电极内侧,且与所述引弧电极间隔设置;所述阴极靶竖直放置,所述圆台段的轴垂直水平方向,所述圆台段包括第一端面和第二端面,所述第一端面面积大于第二端面面积,所述圆台段的第二端面向下; 聚焦线圈,聚焦线圈设置在所述引弧电极外围,所述聚焦线圈轴向与所述圆台段轴向平行或同轴; 偏转线圈,所述偏转线圈安装在真空室外,偏转线圈用于调控电弧离子偏转路径;聚焦线圈和偏转线圈配合得到开放式过滤结构,实现偏转过滤功能; 所述引弧针端部与所述阴极靶接触; 电源,电连接引弧电极,以向阴极靶提供放电电流; 所述引弧电极、阴极靶和引弧针形成组件,所述聚焦线圈在竖直方向的宽度大于所述组件在竖直方向的宽度,所述组件置于所述聚焦线圈环内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏徐工工程机械研究院有限公司,其通讯地址为:221004 江苏省徐州市徐州经济技术开发区驮蓝山路26号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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