株式会社三丰松浦心平获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社三丰申请的专利分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112629434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011037038.8,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质是由松浦心平设计研发完成,并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备200包括:获取部210,其从干涉测量设备获取基于参考面132和测量对象物体10的表面之间的多个光路长度的多个干涉图像;计算部230,其分别计算多个干涉图像中的各像素的干涉信号的正弦波分量和余弦波分量;误差检测部240,其检测基于各像素的正弦波分量和余弦波分量所构成的第一利萨如图形与理想的第二利萨如图形之间的误差;校正部250,其基于该误差来校正各像素的正弦波分量和余弦波分量;以及几何形状计算部260,其基于校正后的正弦波分量和余弦波分量来计算测量对象物体10的表面几何形状。
本发明授权分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种分析设备,用于分析干涉测量设备的干涉图像,所述干涉测量设备用于生成通过利用激光照射参考面和测量对象物体的表面所反射的参考光和测量光的所述干涉图像,所述分析设备包括: 获取部,用于从所述干涉测量设备获取基于所述参考面和所述测量对象物体的表面之间的多个光路长度的多个所述干涉图像; 计算部,用于分别计算多个所述干涉图像中的各像素的干涉信号的正弦波分量和余弦波分量; 误差检测部,用于检测基于各像素的所述正弦波分量和所述余弦波分量所构成的第一利萨如图形与理想的第二利萨如图形之间的误差; 校正部,用于基于所述误差来校正各像素的所述正弦波分量和所述余弦波分量;以及 几何形状计算部,用于基于校正后的所述正弦波分量和所述余弦波分量来计算所述测量对象物体的表面几何形状。
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