应用材料公司加亚特里·纳图获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114424676B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080066006.2，技术领域涉及：H05F1/02；该发明授权用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层是由加亚特里·纳图;吉蒂卡·巴贾;普莉娜·古拉迪雅;达尔尚·撒卡尔;大卫·芬威克;何晓明;桑尼·塞帕埃莱;珍妮弗·孙;拉尹库曼·塔努;杰弗里·赫金斯;卡鲁帕萨米·穆图卡马特兹;阿伦·达雅兰设计研发完成，并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层在说明书摘要公布了：在一些实施方式中揭露了一种用超薄电气耗散材料涂覆以提供从涂层到接地的耗散路径的腔室部件例如终端受动器主体。所述涂层可以经由化学前驱物沉积来沉积以用高成本效益的方式提供均匀、保形、且不含孔隙的涂层。在所述腔室部件包括终端受动器主体的一个实施方式中，所述终端受动器主体可以进一步包括可替换接触垫以用于支撑基板，且接触垫头的接触表面也可以用电气耗散材料涂覆。
本发明授权用于半导体工艺工具中的静电耗散的超薄保形涂层在权利要求书中公布了：1.一种涂覆的腔室部件，包括： 腔室部件；及 涂层，沉积于所述腔室部件的表面上，所述涂层包括电气耗散材料，其中所述电气耗散材料提供从所述涂层到接地的耗散路径，其中所述涂层是均匀、保形、且无孔隙的，其中所述涂层具有范围从10nm到900nm的厚度，其中所述涂层具有范围从1x105欧姆方到1x1011欧姆方的薄层电阻，并且其中所述涂层包括含第一材料的层与含第二材料的层的交替堆叠，所述含第一材料的层由金属或金属合金组成，所述金属或所述金属合金包括Al、Y-Zr、Mg-Al或Ca-Al中的至少一者，且所述含第二材料的层由过渡金属、稀土、主族金属、半导体或上述项的合金组成。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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