上海玄亨科技股份有限公司朱宁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电吸盘的制造方法及制造装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120269413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510749040.4,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权一种静电吸盘的制造方法及制造装置是由朱宁设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘的制造方法及制造装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种静电吸盘的制造方法及制造装置,制造方法包括:提供第一研磨部,其包括安装表面,并设有浆料槽;提供第二研磨部,其包括研磨表面;提供毛坯静电吸盘;毛坯静电吸盘包括沿第一方向相背设置的第一表面和第二表面,并具有第一通孔;第一表面安装于安装表面,第二表面与研磨表面接触,第一通孔贯通第一表面和第二表面,第一通孔与浆料槽连通;向浆料槽供给第一研磨浆料;旋转第一研磨部和或第二研磨部,以对第二表面进行研磨,以形成具有凸部或凹部的静电吸盘。本发明能够稳定提供均匀的研磨浆料,有效提升静电吸盘面型加工的精准性,并且通过调节两个研磨部的相对位置和转速比,进一步实现面型加工的精准减薄。
本发明授权一种静电吸盘的制造方法及制造装置在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘的制造方法,其特征在于,包括: 提供第一研磨部,所述第一研磨部包括安装表面,并设有浆料槽; 提供第二研磨部,所述第二研磨部包括研磨表面; 提供毛坯静电吸盘;其中,所述毛坯静电吸盘包括沿第一方向相背设置的第一表面和第二表面,并具有第一通孔;所述第一表面安装于所述安装表面,所述第二表面与所述研磨表面接触,所述第一通孔贯通所述第一表面和所述第二表面,所述第一通孔与所述浆料槽连通; 向所述浆料槽供给第一研磨浆料; 旋转所述第一研磨部和或所述第二研磨部,以带动所述第一研磨浆料对所述第二表面进行研磨,以形成具有凸部或凹部的静电吸盘; 所述旋转所述第一研磨部和或所述第二研磨部,包括: 以第一研磨速度旋转所述第一研磨部,并以第二研磨速度旋转所述第二研磨部;其中, 所述第一研磨速度和所述第二研磨速度呈第一比值,所述第一比值等于1、小于1或大于1; 所述旋转所述第一研磨部和或所述第二研磨部,还包括: 顺时针旋转所述第一研磨部,并顺时针旋转所述第二研磨部;或 顺时针旋转所述第一研磨部,并逆时针旋转所述第二研磨部;或 逆时针旋转所述第一研磨部,并顺时针旋转所述第二研磨部;或 逆时针旋转所述第一研磨部,并逆时针旋转所述第二研磨部;或 不旋转所述第一研磨部,并顺时针或逆时针旋转所述第二研磨部; 所述旋转所述第一研磨部和或所述第二研磨部,还包括: 沿所述第一方向,所述第一研磨部的旋转中心和所述第二研磨部的旋转中心对齐,以形成具有凸部的静电吸盘;或 沿所述第一方向,所述第一研磨部的旋转中心和所述第二研磨部的旋转中心错开,以形成具有凸部或凹部或平面的静电吸盘。
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