常州索鸿机械科技有限公司沈卫琴获国家专利权
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龙图腾网获悉常州索鸿机械科技有限公司申请的专利硅片清洗机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223197640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422244430.X,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型硅片清洗机是由沈卫琴设计研发完成,并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片清洗机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工设备领域,尤其是硅片清洗机。该清洗机包括超声清洗机、机架、转动马达、直线驱动装置、硅片装载框和鼓风机,所述超声清洗机上固定连接有机架,机架的横梁上固定连接有转动马达和鼓风机,转动马达的转轴上固定连接有直线驱动装置,直线驱动装置的活塞杆固定有硅片装载框,鼓风机的风口朝向硅片装载框。该实用新型能够通过直线驱动装置来升降硅片,并利用转动马达来驱使硅片进行左右摆动来沥水,最后通过鼓风机产生的气流来吹除硅片上的液体和污物。
本实用新型硅片清洗机在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗机,其特征是,包括超声清洗机(1)、机架(2)、转动马达(3)、直线驱动装置(4)、硅片装载框(5)和鼓风机(6),所述超声清洗机(1)上固定连接有机架(2),机架(2)的横梁上固定连接有转动马达(3)和鼓风机(6),转动马达(3)的转轴上固定连接有直线驱动装置(4),直线驱动装置(4)的活塞杆固定有硅片装载框(5),鼓风机(6)的风口朝向硅片装载框(5)。
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