苏州晶湛半导体有限公司程凯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶湛半导体有限公司申请的专利一种石墨盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116368604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080106823.6，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种石墨盘是由程凯;张丽旸设计研发完成，并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨盘在说明书摘要公布了：本申请提供了一种石墨盘，以解决现有技术中利用石墨盘进行材料外延生长时所得到的外延片的性能均一性差的问题。石墨盘包括石墨盘本体，石墨盘本体包括凹槽和位于凹槽底壁上的多个凸起，多个凸起将凹槽划分为彼此独立的多个区域。根据本申请提供的石墨盘，利用凸起在凹槽中限定出多个区域，每个区域将对应一个衬底，不同区域之间彼此互通，相比于现有技术中一个凹槽对应一个衬底的石墨盘结构而言，增大了气体流通空间，缓解了由于气流原因导致的边缘偏厚问题。
本发明授权一种石墨盘在权利要求书中公布了：1.一种石墨盘，其特征在于，包括石墨盘本体，所述石墨盘本体包括凹槽和位于所述凹槽底壁上的多个凸起，所述多个凸起将所述凹槽划分为彼此独立的多个区域，所述凹槽在所述石墨盘本体上的正投影的边缘包括至少一个弧形段，每个所述弧形段对应的侧壁和至少一个所述凸起配合围成一个所述区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州晶湛半导体有限公司，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢517-A室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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