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龙图腾网获悉爱德华兹真空泵有限责任公司申请的专利多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114008736B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080044492.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法是由D·斯坎兰;K·L·莎侬;D·斯蒂芬森设计研发完成，并于2020-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法在说明书摘要公布了：公开了一种真空排气系统和抽空多个腔室（10）的方法。真空排气系统位于洁净间中，并且包括：多个分支工艺气体通道（14），每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室（10）；以及共享工艺通道（16），该共享工艺通道由分支通道的汇合形成，并且被配置成提供共享的流体连通路径，以用于来自所述腔室中的每一个的工艺气体从洁净间流动到洁净间外部的工艺通道。还存在多个分支抽气通道（30），每个分支抽气通道被配置成连接到相应的腔室（10）和共享的抽气通道（32），该共享的抽气通道由分支抽气通道的汇合形成，并被配置成提供流体连通路径以用于流体在真空腔室（10）中的至少一个的抽气期间从洁净间流动到洁净间外部的抽气通道。

本发明授权多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于抽空位于洁净间中的多个腔室的真空排气系统，所述真空排气系统包括： 多个分支工艺气体通道，每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室； 共享工艺通道，由所述分支工艺气体通道的汇合形成，并被配置成提供共享的流体连通路径，以用于来自所述腔室中的每一个的工艺气体从所述洁净间流动到所述洁净间外部的工艺通道；和 多个分支抽气通道，每个分支抽气通道被配置成连接到相应的腔室； 共享的抽气通道，由所述分支抽气通道的汇合形成，并被配置成提供流体连通路径以用于流体在所述腔室中的至少一个的抽气期间从所述洁净间流动到所述洁净间外部的抽气通道； 控制模块，所述控制模块包括压力控制电路，所述压力控制电路被配置成生成用于控制所述共享工艺通道中的压力的控制信号，所述压力控制电路被配置成接收指示所述腔室中的至少一个内的未来活动的信号，所述压力控制电路被配置成响应于指示所述未来活动的所述接收到的信号而生成所述控制信号中的至少一个； 吹扫气体入口，用于向所述共享工艺通道提供受控的吹扫气体流； 由所述压力控制电路生成的所述控制信号中的至少一个是用于控制所述吹扫气体流的控制信号。

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