株式会社迪思科木内逸人获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利支承片、以及透明板的加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111799208B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010248823.1,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权支承片、以及透明板的加工方法是由木内逸人设计研发完成,并于2020-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本支承片、以及透明板的加工方法在说明书摘要公布了:提供支承片、以及透明板的加工方法。对被加工物进行支承的支承片至少包含具有对被加工物进行支承的正面的透明片和层叠在透明片的背面上的反射膜,透明板的加工方法至少包含如下工序:槽形成工序,将切削刀具定位于透明板被加工物的正面而进行切削,形成未到达背面的多个半切槽;支承工序,将支承片的正面定位于透明板的正面而进行支承;和切削工序,将切削刀具定位于透明板的背面而对与形成于正面的半切槽对应的区域进行切削,在切削工序中包含从透明板的背面对形成于正面的半切槽进行检测的检测工序,从而通过反射膜使光在形成于正面的半切槽的侧面和底面上发生漫反射,从背面侧明确地检测形成于正面的半切槽。
本发明授权支承片、以及透明板的加工方法在权利要求书中公布了:1.一种透明板的加工方法,其中, 该透明板的加工方法至少包含如下的工序: 槽形成工序,将切削刀具定位于透明板的正面而进行切削,形成未到达背面的多个半切槽; 支承工序,将支承片的与形成有反射膜的区域对应的正面定位于形成有该半切槽的透明板的正面而进行支承,该支承片包含具有对透明板进行支承的正面的透明片和层叠在该透明片的背面上的该反射膜;以及 切削工序,将切削刀具定位于透明板的背面而对与形成于正面的该半切槽对应的区域进行切削, 在该切削工序中包含如下的检测工序:在对与该半切槽对应的区域进行切削之前从透明板的背面对形成于正面的该半切槽进行检测。
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