应用材料公司张纯磊获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利方位可调整的多区域静电夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113675115B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110960034.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权方位可调整的多区域静电夹具是由张纯磊;P·克里米诺儿;S·E·巴巴扬;D·乌尔斯特伦设计研发完成，并于2016-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本方位可调整的多区域静电夹具在说明书摘要公布了：本文所述的实施方式提供一种用于处理基板支撑组件上的基板的方法，该方法实现静电夹具与基板之间的热传递的横向与方位角两者上的调整。该方法包括下述步骤：使用ESC上的第一温度分布来处理第一基板，ESC具有主加热器与空间上可调整的加热器。从处理第一基板的结果来确定偏离目标结果分布的偏移分布。基于偏移分布，将第一温度分布调整为ESC上的第二温度分布。调整为第二温度分布包括：递增提供给对应于偏移分布的一个或更多个离散位置中的一个或更多个空间上可调整的加热器的功率。然后使用第二温度分布来处理ESC上的第二基板。
本发明授权方位可调整的多区域静电夹具在权利要求书中公布了：1.一种处理基板支撑组件上的基板的方法，所述方法包括下述步骤： 使用基板支撑组件上的第一温度分布来处理第一基板，所述基板支撑组件具有主加热器与空间上可调整的加热器； 从处理所述第一基板的结果来确定偏移分布； 响应于所述偏移分布来控制所述空间上可调整的加热器，以在形成第二温度分布的过程中实现所述基板支撑组件的局部温度的离散的横向与方位角上的调整；及 用所述第二温度分布来处理第二基板，其中确定所述偏移分布包括下述步骤： 输入数据至前馈控制器例程中，所述数据包括工艺灵敏性、目标工艺数据以及上游计量工艺数据中的一者或更多者； 从所输入的数据确定所需的基板温度补偿映射；及 从工艺配方与所述基板温度补偿映射来创建所述偏移分布。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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