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龙图腾网获悉洛阳理工学院;凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司;洛玻集团洛阳龙海电子玻璃有限公司;中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司申请的专利一种耐高温ITO导电玻璃及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120330670B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510797514.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种耐高温ITO导电玻璃及其制备方法是由刘明;于仕辉;杨盼;许晓颖;李结松;冯坚;董西阳;汤晓旭;黄茜茜;周航;赵拓;胡殿芳;陈建设计研发完成，并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种耐高温ITO导电玻璃及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种耐高温ITO导电玻璃及其制备方法，涉及透明导电材料领域，该ITO导电玻璃的制备方法为：先清洗玻璃基板，将干净的玻璃基板放入磁控溅射的制备台上，同时将ITO陶瓷靶材、SnO2陶瓷靶材和Si3N4陶瓷靶材分别安装在磁控溅射设备的不同固定靶上，之后通过磁控溅射技术在玻璃基板上依次沉积底层SnO2薄膜、ITO薄膜、中部SnO2薄膜、Si3N4薄膜和顶层SnO2薄膜，即在玻璃基板表面形成SnO2ITOSnO2Si3N4SnO2复合薄膜结构；通过本发明的方法制备的导电玻璃在高温环境下仍能保持稳定的电学性能和较高的透光率，满足半导体器件制造、太阳能电池等领域对材料的严苛要求，推动相关产业的发展。

本发明授权一种耐高温ITO导电玻璃及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种耐高温ITO导电玻璃的制备方法，其特征在于，主要包括如下步骤： 步骤S1、清洗玻璃基板，并将清洗后的玻璃基板放入磁控溅射设备的制备台上，同时将ITO陶瓷靶材、SnO2陶瓷靶材和Si3N4陶瓷靶材分别安装在磁控溅射设备中不同的固定靶上； 步骤S2、通过磁控溅射技术在玻璃基板上依次沉积底层SnO2薄膜、ITO薄膜、中部SnO2薄膜、Si3N4薄膜和顶层SnO2薄膜，即在玻璃基板表面形成SnO2ITOSnO2Si3N4SnO2复合薄膜结构； 其中，磁控溅射底层SnO2薄膜时，沉积温度为200~400℃，溅射气体为氩气与氧气的混合气体，氩气与氧气的流量比为30:1~10:1，溅射气压为0.3~1.5Pa，溅射功率为50~200W； 磁控溅射ITO薄膜时，沉积温度为300~400℃，溅射气体为氩气，溅射气压为0.8~1.5Pa，溅射功率为100~200W； 磁控溅射中部SnO2薄膜时，沉积温度为200~400℃，溅射气体为氩气与氧气的混合气体，氩氧比为30:1~10:1，溅射气压为0.3~1.5Pa，溅射功率为50~200W； 磁控溅射Si3N4薄膜时，沉积温度为200~400℃，溅射气体为氩气，溅射气压为1.0~2.0Pa，溅射功率为80~200W； 磁控溅射顶层SnO2薄膜时，沉积温度为200~400℃，溅射气体为氩气与氧气的混合气体，氩气与氧气的流量比为30:1~10:1，溅射气压为0.3~1.5Pa，溅射功率为50~200W。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人洛阳理工学院;凯盛信息显示材料(洛阳)有限公司;洛玻集团洛阳龙海电子玻璃有限公司;中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司，其通讯地址为：471023 河南省洛阳市洛龙区王城大道90号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。