江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利半导体工件存储装置的清洁方法及清洁设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120133252B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510629015.2，技术领域涉及：B08B9/20；该发明授权半导体工件存储装置的清洁方法及清洁设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工件存储装置的清洁方法及清洁设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种半导体工件存储装置的清洁方法及清洁设备。其中，清洁方法包括在干燥工位对盖体与盒体进行干燥处理，所述半导体工件存储装置包括盖体和盒体，所述盖体可拆卸连接于所述盒体；对所述盖体与所述盒体保持环境气氛控制；对所述盖体与所述盒体进行锁合；将完成锁合后的所述半导体工件存储装置进行下料。该清洁方法使得完成干燥处理后的盖体与盒体所处的环境气氛始终为干燥环境气氛，能够降低空气中的水汽附着于盒体与盖体表面的情况发生，进而能够大大降低含有水汽的空气对盒体与盖体的干燥度的影响。
本发明授权半导体工件存储装置的清洁方法及清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工件存储装置的清洁方法，其特征在于，所述清洁方法包括： 在干燥工位对盖体与盒体进行干燥处理，所述半导体工件存储装置包括盖体和盒体，所述盖体可拆卸连接于所述盒体； 对所述盖体与所述盒体保持环境气氛控制； 对所述盖体与所述盒体进行锁合； 将完成锁合后的所述半导体工件存储装置进行下料； 其中，对所述盖体与所述盒体保持环境气氛控制，包括： 利用洁净干燥气体对锁合过程中的所述盖体与所述盒体进行吹扫；所述洁净干燥气体的相对湿度小于1%； 对所述盖体与所述盒体进行锁合之前，包括： 将完成干燥处理的所述盖体与所述盒体移至锁合工位； 利用洁净干燥气体对从所述干燥工位移至所述锁合工位过程中的所述盖体与所述盒体，以及位于所述锁合工位的所述盖体与所述盒体进行吹扫。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号