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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法、清洗方法及清洁设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120133257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510629020.3，技术领域涉及：B08B9/44；该发明授权待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法、清洗方法及清洁设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法、清洗方法及清洁设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法、清洗方法及清洁设备。其中，运输调度方法包括：S1、将待清洗的半导体工件存储装置载入至清洁设备的装载单元的装载工位；S2、利用第一转运机构将待清洗的半导体工件存储装置由装载工位转运至装载单元的检测工位；S3、利用检测单元对待清洗的半导体工件存储装置进行检测；S4、若检测结果为不合格，则利用第一转运机构将待清洗的半导体工件存储装置由装载工位转运至装载单元的缓存工位；S5、利用位于清洁设备外部的第二转运机构将另一个待清洗的半导体工件存储装置运输至装载工位。该运输调度方法不仅能够优化运输调度路线，且能够提供足够的灵活调度空间。

本发明授权待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法、清洗方法及清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种待清洗的半导体工件存储装置的运输调度方法，其特征在于，利用清洁设备对待清洗的所述半导体工件存储装置进行清洗，所述运输调度方法包括： S1、将待清洗的半导体工件存储装置载入至所述清洁设备的装载单元的装载工位，所述装载工位位于所述清洁设备外部； S2、利用第一转运机构将待清洗的所述半导体工件存储装置由所述装载工位转运至所述装载单元的检测工位； S3、利用检测单元对待清洗的所述半导体工件存储装置进行检测； S4、若检测结果为不合格，则利用所述第一转运机构将待清洗的所述半导体工件存储装置由所述装载工位转运至所述装载单元的缓存工位，所述缓存工位与所述装载工位位于同一侧； S5、利用位于所述清洁设备外部的第二转运机构将另一个待清洗的半导体工件存储装置运输至所述装载工位； S6、所述第二转运机构将另一个待清洗的所述半导体工件存储装置放置于所述装载工位后直接移至所述缓存工位，并将位于所述缓存工位的检测结果为不合格的所述半导体工件存储装置进行转运。

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