江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法及清洁设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120142069B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510629018.6,技术领域涉及:G01N5/02;该发明授权待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法及清洁设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法及清洁设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法及清洁设备。其中,检测方法包括获取半导体工件存储装置的标签信息;获取半导体工件存储装置的当前重量值;从数据库中调取与标签信息关联的半导体工件存储装置的参考重量值;若数据库中不存在参考重量值,则触发第一检测指令,否则,将当前重量值与参考重量值进行比对;当当前重量值与参考重量值的差值超过预设阈值时,触发第一检测指令,第一检测指令为执行半导体工件存储装置的盒体与盖体的分离动作及对其内部确认是否存在异物的检测;当当前重量值与参考重量值的差值在预设阈值范围内,完成检测。该检测方法既能够保证检测的准确性,也能够保证检测效率。
本发明授权待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法及清洁设备在权利要求书中公布了:1.一种待清洗的半导体工件存储装置内异物的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括: 获取半导体工件存储装置的标签信息; 获取所述半导体工件存储装置的当前重量值; 从数据库中调取与所述标签信息关联的所述半导体工件存储装置的参考重量值; 若所述数据库中不存在所述参考重量值,则触发第一检测指令,否则,将所述当前重量值与所述参考重量值进行比对; 当所述当前重量值所述参考重量值的差值超过预设阈值时,触发所述第一检测指令,所述第一检测指令为执行所述半导体工件存储装置的盒体与盖体的分离动作及对其内部确认是否存在异物的检测; 当所述当前重量值与所述参考重量值的差值在所述预设阈值范围内,完成检测。
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