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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆装载系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120149216B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510629080.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆装载系统是由常志勇;张贵东;侯双明;孟君燕设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆装载系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆装载系统，包括：装载主体，具有用于放置晶圆盒的承载面，所述晶圆盒内设有沿高度方向叠置的多个晶圆片；检测机构，形成有沿水平方向延伸的检测光路，所述检测光路扫描晶圆片的边缘轮廓以检测突出状态；升降驱动机构，与所述检测机构连接，用于驱动所述检测机构沿晶圆盒高度方向往复运动；纠偏执行机构，包括驱动单元和枢转纠偏部，所述枢转纠偏部设有枢转轴心及可绕所述枢转轴心转动的滚动接触面。采用上述方案，能够适配不同尺寸晶圆片的纠偏，并提高的晶圆纠偏的效率和洁净度。

本发明授权一种晶圆装载系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载系统，其特征在于，包括： 装载主体（1），具有用于放置晶圆盒（11）的承载面，所述晶圆盒（11）内设有沿高度方向叠置的多个晶圆片（12）； 检测机构（2），形成有沿水平方向延伸的检测光路（26），所述检测光路（26）扫描晶圆片（12）的边缘轮廓以检测突出状态； 升降驱动机构（3），与所述检测机构（2）连接，用于驱动所述检测机构（2）沿晶圆盒（11）高度方向往复运动； 纠偏执行机构（4），包括驱动单元（41）和枢转纠偏部（42），所述枢转纠偏部（42）设有枢转轴心（421）及可绕所述枢转轴心（421）转动的滚动接触面； 所述驱动单元（41）具有输出轴，所述枢转纠偏部（42）包括摆杆（422）和摆轮，所述摆杆（422）一端与所述输出轴固定连接，另一端与所述摆轮连接，所述摆轮的圆周面构成所述滚动接触面； 其中，当检测光路（26）被突出的晶圆遮挡时，所述升降驱动机构（3）停止运动，所述驱动单元（41）驱动所述枢转纠偏部（42）绕所述枢转轴心（421）转动并向晶圆片（12）的方向移动，所述滚动接触面通过动摩擦接触突出的晶圆片（12）以驱动复位；所述检测光路（26）的水平高度相对于所述枢转纠偏部（42）的枢转轴心（421）具有预设的向下偏移量（27），所述向下偏移量（27）用于补偿升降惯性位移及信号延迟误差。

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