国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;上海大学李群获国家专利权
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龙图腾网获悉国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;上海大学申请的专利一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120101921B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510550987.2，技术领域涉及：G01H9/00；该发明授权一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法是由李群;吴鹏;王廷云;蔚超;刘同宝;周建华;黄怿;张小贝;邵剑;王同磊;陆云才;梁家碧;李晓涵设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法，属于声学传感器技术领域。传感器包括膜片、衬底、毛细管和光纤；膜片器件层的感应输入端中部区域设有依次排列的多个不同高度的台阶，器件层的另一面设有反射层；衬底轴向中心开设有台阶型通孔，膜片周部固定连接衬底；台阶型通孔包括第一通固定孔和第二固定孔，分别与所述光纤和毛细管相适应；毛细管插入固定于第二固定孔内；光纤贯穿毛细管后插入第一固定孔并固定，光纤朝向膜片的轴向投影位于膜片中心区域，光纤端部与反射层之间具有光传输间隔。本发明能够实现传感器的多谐振频率，以及在各频响范围内均具有较高的灵敏度和信号稳定性，并降低多谐振频率传感器的生产成本。
本发明授权一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS技术的阶梯型FP传感器，其特征是，包括膜片、衬底、毛细管和光纤； 所述膜片包括器件层，所述器件层的一面为感应输入端，其上中部区域设有依次排列的多个不同高度的台阶，器件层的另一面为一平面，其上设有反射层； 所述衬底为一柱体，其轴向中心开设有台阶型通孔，所述膜片周部固定连接所述衬底的一端端面周部，且所述反射层朝向所述衬底；所述台阶型通孔包括靠近膜片的第一固定孔和远离膜片的第二固定孔，所述第一固定孔和第二固定孔分别与所述光纤和毛细管相适应； 所述毛细管一端插入并固定于所述第二固定孔内； 所述光纤贯穿并固定于所述毛细管，且其一端插入所述第一固定孔并固定，光纤朝向膜片的轴向投影位于膜片中心区域，光纤端部与所述反射层之间具有光传输间隔。
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