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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利应用于半导体设备的测温方法以及测温系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120043641B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525681.1，技术领域涉及：G01J5/53；该发明授权应用于半导体设备的测温方法以及测温系统是由马法君;左志耀;黄呈;刘明军设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本应用于半导体设备的测温方法以及测温系统在说明书摘要公布了：本发明提供应用于半导体设备的测温方法以及测温系统，测温方法包括：按照目标温度对半导体设备处理腔室内控温后，通过滤光装置接收处理腔室内出射的热辐射，通过光电探测装置接收并将经滤光装置所出射特定波段光的光信息转换为电压信息，通过主控装置根据电压信息、电压‑温度对应函数以及目标温度T和预存的参照温度之间的大小关系得到测定温度。中包含有滤光装置的有效波长与温度的对应关系，是利用包含滤光装置的测温标定系统对标准热源在不同设定温度下所出射热辐射进行光强测定和计算得到，能减少或避免因光电探测装置可测波段和滤光装置带宽之间相互影响，滤光装置实际中心波长与其标注中心波长有偏差而导致的测温偏差。

本发明授权应用于半导体设备的测温方法以及测温系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体设备的测温方法，其特征在于，包括： S0：提供滤光装置、光电探测装置、主控装置和半导体设备，所述主控装置预存有电压-温度对应函数； S1：按照目标温度T对所述半导体设备的处理腔室内控温后，通过所述滤光装置接收所述处理腔室的热辐射并出射对应特定波段光； S2：通过所述光电探测装置接收并将所述特定波段光的光信息转换为电压信息； S3：通过所述主控装置根据所述电压信息、所述电压-温度对应函数以及所述目标温度T和预存的参照温度之间的大小关系得到测定温度； 所述电压-温度对应函数为： 当所述目标温度T不超过所述参照温度，当所述目标温度T超过所述参照温度，； a，b为常数，所述参照温度为700~900摄氏度； 为利用包含所述滤光装置的测温标定系统对标准热源在不同设定温度下所出射热辐射进行光强测定和计算，所得到的所述滤光装置的有效波长与温度的对应关系，为当所述标准热源的控温为上限温度时根据所述滤光装置的有效波长与温度的对应关系计算得到的对应有效波长值。

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