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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117046851B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310957263.0，技术领域涉及：B08B11/00；该发明授权一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法是由魏朝阳;韩宜池;万嵩林;彭小聪;邵建达设计研发完成，并于2023-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法在说明书摘要公布了：一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法，包括：首先用光学显微镜和荧光共聚焦显微镜检测表面及亚表面污染缺陷的分布和深度；随后采用应力双折射仪进行不同清洗深度热应力的测定；再通过特定参数进行近无热应力的激光清洗，从而去除元件表面及亚表面污染和结构缺陷，此过程可以实现不破坏元件粗糙度的均匀清洗；最后采用去离子水对熔石英元件进行超声清洁。本发明操作简单且成本低廉，仅需激光清洗即可实现缺陷及污染的有效去除，从而实现近无应力条件下，不破坏粗糙度的均匀清洗，并显著提升熔石英元件的损伤阈值。本方法拓展了激光加工的应用场景，对提高强激光系统元件的损伤阈值有重大意义。

本发明授权一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法，其特征在于，包括： S1.根据光学显微镜和荧光共聚焦显微镜检测表面及亚表面污染缺陷的范围及深度分布进行清洗； S2.利用应力双折射仪进行不同清洗深度热应力测定，确保清洗过程不会引入明显热应力； S3.特定参数下的近无应力的变深度激光清洗：将熔石英元件固定在三维移动平台上，将激光器放置在距离元件35mm-40mm距离的位置进行加工，通过控制脉冲宽度改变激光清洗深度，针对不同深度的缺陷及污染进行去除，激光清洗过程按照上述参数对所述熔石英元件进行加工，直到激光束完成对熔石英元件表面的清洗处理，该参数可以保证清洗后粗糙度不被破坏； 特定参数下的近无应力的变深度激光清洗设置激光功率为26.5W，频率为95kHz，扫描速度为100mms，x方向和y方向的扫描路径间距为25.5μm，扫描路径设置为栅形路径；脉冲宽度通过声光调制器进行调节，其数值为55μs-65μs，从而控制激光清洗深度小于200nm，从而避免热应力的产生和粗糙度的破坏； S4.熔石英元件超声清洁：先用去离子水冲洗，再在温度为20-30℃的纯水中超声10-15分钟，再用去离子水冲洗，最后置于超净工作台上烘干，获得超声清洗后的熔石英元件。

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