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株式会社三丰亨德瑞克·凯特拉尔斯获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社三丰申请的专利用于测量测试表面的高度图的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112985277B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011459154.9,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权用于测量测试表面的高度图的方法是由亨德瑞克·凯特拉尔斯;A·祖德伟格;L·雷德拉斯基;J·奎达克尔斯设计研发完成,并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

用于测量测试表面的高度图的方法在说明书摘要公布了:公开了一种用于测量测试表面的高度图的方法,该方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量,所述测试表面具有变化的反射率。多传感器设备还包括被配置为对测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器。空间光调制器被放置在一个或多个光源与多传感器设备的测量位置之间的光路中,并且被配置为调制从光源中至少之一发出的光。该方法包括进行用于确定测试表面的照明强度图的测量以及用于形成测试表面的高度图的测量。

本发明授权用于测量测试表面的高度图的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于测量测试表面的高度图的方法,所述方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量,所述测试表面具有变化的反射率, 其中,所述多传感器设备还包括被配置为对所述测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器,其中,所述空间光调制器被放置在所述一个或多个光源与所述多传感器设备的测量位置之间的光路中,以及其中,所述空间光调制器被配置为调制从所述光源中至少之一发出的光, 其中,所述方法包括: -将所述测试表面放置在所述多传感器设备的所述测量位置中; -使用所述光源中的一个或多个来对所述测试表面进行照明; -使用所述预扫描传感器来测量在所述预扫描传感器的视场中从所述测试表面反射的光量; -基于所述预扫描传感器对所反射的光量的测量来确定所述预扫描传感器的视场中的所述测试表面的反射率; -基于所述预扫描传感器的视场中的反射率的确定来确定照明强度图; -使用所述光源中的一个或多个来对所述测试表面进行照明; -基于所述照明强度图使用所述空间光调制器来调制所述光源中的一个或多个所发出的光以在所述测试表面上产生光的调制图案;以及 -通过所述高度测量传感器来测量所述测试表面的高度图, 其中,所述预扫描传感器相比于所述高度测量传感器具有更大的视场,以及其中,所述方法还包括: -将所述照明强度图细分为子场,所述子场各自与所述高度测量传感器的视场相对应; -使用所述光源中的一个或多个来对所述测试表面的子场进行照明; -基于所述照明强度图使用所述空间光调制器来调制所述光源中的一个或多个所发出的光以在所述测试表面的照明的子场上产生光的调制图案; -通过所述高度测量传感器来测量所述照明的子场的高度图; -针对所述测试表面的各子场重复以上三个步骤,因此获得所述测试表面的各子场的高度图;以及 -对所述子场的高度图进行拼接,以形成所述测试表面的高度图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社三丰,其通讯地址为:日本神奈川县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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