ASML荷兰有限公司T·哈桑获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利计算机程序产品和形貌确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690591B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210458166.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权计算机程序产品和形貌确定方法是由T·哈桑;V·K·贾因;斯蒂芬·亨斯克;B·拉方丹设计研发完成，并于2017-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本计算机程序产品和形貌确定方法在说明书摘要公布了：一种确定形貌的方法，该方法包括：获得第一聚焦值，所述第一聚焦值从对未经图案化的衬底的图案化建模的计算光刻模型导出或从未经图案化的衬底上的图案化层的测量导出；获得第二聚焦值，所述第二聚焦值从具有形貌的衬底的测量导出；和根据第一聚焦值和第二聚焦值确定所述形貌的值。
本发明授权计算机程序产品和形貌确定方法在权利要求书中公布了：1.一种计算机程序产品，包括其中具有指令的非暂时性计算机可读介质，所述指令在由计算机系统执行时，被配置为引起计算机系统至少： 获得聚焦的第一值或与聚焦有关的第一值，所述第一值从对未图案化衬底的图案化建模的计算光刻模型导出，或者从对未图案化的衬底上的图案化层的测量导出； 获得聚焦的第二值或与聚焦有关的第二值，所述第二值从对具有形貌的衬底的测量导出；和 根据所述第一值和所述第二值确定所述形貌的值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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