无锡卓海科技股份有限公司李响获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119517771B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411610250.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品是由李响;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品。该方法包括：获取待测薄膜在测量波长下的测量反射率；确定至少一个粒子分别对应的粒子位置和历史最优位置，以及所述至少一个粒子的全局最优位置，其中，所述粒子位置与所述待测薄膜的薄膜厚度相关；根据所述至少一个粒子分别对应的粒子位置和历史最优位置、所述全局最优位置、所述测量波长以及所述测量反射率，更新所述全局最优位置；根据所述全局最优位置，确定所述待测薄膜的厚度测量结果。本发明实施例的技术方案，可以提高测量速度以及准确率。
本发明授权一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品在权利要求书中公布了：1.一种薄膜厚度测量方法，其特征在于，包括： 获取待测薄膜在测量波长下的测量反射率； 确定至少一个粒子分别对应的粒子位置和历史最优位置，以及所述至少一个粒子的全局最优位置，其中，所述粒子位置与所述待测薄膜的薄膜厚度相关； 根据所述至少一个粒子分别对应的粒子位置和历史最优位置、所述全局最优位置、所述测量波长以及所述测量反射率，更新所述全局最优位置； 根据所述全局最优位置，确定所述待测薄膜的厚度测量结果； 所述确定至少一个粒子分别对应的粒子位置，包括： 确定至少一个目标个体，其中，所述目标个体的数量与所述粒子的数量相同； 针对所述至少一个目标个体中的每个目标个体，随机生成扰动，根据所述扰动以及所述目标个体，确定备选个体，并根据所述目标个体、所述备选个体、所述测量波长以及所述测量反射率，更新所述目标个体； 针对所述至少一个目标个体中的每个目标个体，将所述目标个体看作一个粒子的粒子位置，以得到至少一个粒子分别对应的粒子位置。
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