深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司吴镇荣获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利载具更换装置及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223226158U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422503660.3,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型载具更换装置及镀膜设备是由吴镇荣;彭江南;房声海设计研发完成,并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本载具更换装置及镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种载具更换装置及镀膜设备,载具更换装置包括第一输送组件、第二输送组件、第一顶升组件、第二顶升组件与搬运组件,第一输送组件输送第一载具,第二输送组件输送第二载具,第一顶升组件与第二顶升组件用于支撑所述基片,使基片与第一载具分离,或将基片放置于第二载具,搬运组件用于将基片转移至由第二顶升组件支撑;镀膜设备包括载具更换装置。通过在基片进入下一镀膜区域前,将基片从第一载具转移至第二载具,实现在不同镀膜区域之间的载具更换。
本实用新型载具更换装置及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.载具更换装置,其特征在于,用于将基片由第一载具转移至第二载具,包括: 第一输送组件,用于输送第一载具; 第二输送组件,用于输送第二载具; 第一顶升组件,用于支撑所述基片,以在所述第一顶升组件的顶升面高于所述第一输送组件的输送面时,使所述基片与所述第一载具分离; 第二顶升组件,用于支撑所述基片,以在所述第二顶升组件的顶升面低于所述第二输送组件的输送面时,使所述基片装载于所述第二载具; 搬运组件,用于在所述基片与所述第一载具分离后,将所述基片转移至由所述第二顶升组件支撑。
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