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川旭德(苏州)半导体科技有限公司张欢获国家专利权

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龙图腾网获悉川旭德(苏州)半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆盒夹持器和取料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223230333U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421881256.3,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆盒夹持器和取料装置是由张欢;李祥品;黄建龙设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆盒夹持器和取料装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种晶圆盒夹持器,用于夹持晶圆盒,晶圆盒的两侧分别设置有托板,晶圆盒夹持器包括连接杆和夹爪,夹爪相对设置且与连接杆连接;两个夹爪分别与晶圆盒夹紧;第一微动传感器与机械臂电连接,两个夹爪的顶部设置有安装槽,安装槽的总数量与第一微动传感器的总数量相同且一一对应,第一微动传感器均安装在对应安装槽内,两个夹爪与晶圆盒夹紧时,每一个托板压在对应夹爪上的第一微动传感器上,且每一个第一微动传感器处于被压入对应安装槽内的状态时,机械臂驱使晶圆盒夹持器运动。当两个托板未与全部的第一微动传感器接触时,两个夹爪立刻夹持抱紧在晶圆盒上,降低晶圆盒因放置位置存有倾斜情况而造成晶圆盒运输过程脱落的风险。

本实用新型一种晶圆盒夹持器和取料装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒夹持器,用于夹持晶圆盒,其特征在于,所述晶圆盒的两侧分别设置有托板,所述晶圆盒夹持器包括: 连接杆和两个夹爪,两个所述夹爪相对设置且相对的一端与所述连接杆连接,分别与所述晶圆盒设置有所述托板的两个侧面夹紧; 至少三个第一微动传感器,每一个所述第一微动传感器用于与机械臂电连接,两个所述夹爪的顶部设置有安装槽,所述安装槽的总数量与所述第一微动传感器的总数量相同且一一对应,第一微动传感器均安装在对应所述安装槽内,两个所述夹爪与所述晶圆盒夹紧时,每一个所述托板压在对应所述夹爪上的所述第一微动传感器上,且每一个所述第一微动传感器处于被压入对应所述安装槽内的状态时,所述机械臂驱使所述晶圆盒夹持器运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人川旭德(苏州)半导体科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市自由贸易试验区中国(江苏)苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G4-301-069;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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