宁波舜宇奥来技术有限公司郭飞获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波舜宇奥来技术有限公司申请的专利万向调节的晶圆目检工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223229456U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421472552.8，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型万向调节的晶圆目检工装是由郭飞;张勇;周汉卿;汪杰设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本万向调节的晶圆目检工装在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种万向调节的晶圆目检工装，万向调节的晶圆目检工装用于放置在操作平面上，包括：转向机构，转向机构相对于操作平面的位置稳定，转向机构的至少一部分能够绕垂直于操作平面的轴转动，转向机构的至少另一部分能够调节与操作平面的夹角；支撑机构，支撑机构固定在转向机构的顶部，以使转向机构带动支撑机构移动，支撑机构具有安装空间；翻转机构，翻转机构设置在安装空间内，翻转机构具有转轴，翻转机构的至少一部分能够绕转轴转动并在任意角度悬停，翻转机构具有安装面；晶圆载台，晶圆载台可拆卸地安装在安装面上，晶圆载台用于放置待检晶圆。本实用新型解决了现有技术中晶圆检测多角度检测困难并且容易损伤晶圆的问题。
本实用新型万向调节的晶圆目检工装在权利要求书中公布了：1.一种万向调节的晶圆目检工装，其特征在于，所述万向调节的晶圆目检工装用于放置在操作平面上，所述万向调节的晶圆目检工装包括： 转向机构2，所述转向机构2相对于所述操作平面的位置稳定，所述转向机构2的至少一部分能够绕垂直于所述操作平面的轴转动，所述转向机构2的至少另一部分能够调节与所述操作平面的夹角； 支撑机构3，所述支撑机构3固定在所述转向机构2的顶部，以使所述转向机构2带动所述支撑机构3移动，所述支撑机构3具有安装空间； 翻转机构4，所述翻转机构4设置在所述安装空间内，所述翻转机构4具有转轴42，所述翻转机构4的至少一部分能够绕所述转轴42转动并在任意角度悬停，所述翻转机构4具有安装面43； 晶圆载台5，所述晶圆载台5可拆卸地安装在所述安装面43上，所述晶圆载台5用于放置待检晶圆52，所述待检晶圆52能够跟随所述翻转机构4转动。
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