广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种直冲式清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223230307U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421456492.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种直冲式清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成,并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直冲式清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体的技术领域,公开了一种直冲式清洗装置,包括冲洗盖和冲洗盒,冲洗盖与冲洗盒连接,冲洗盖设有进水口,冲洗盒设有至少两个沿第一方向延伸的冲洗槽,相邻的冲洗槽沿第二方向间隔设置,冲洗槽包括沿第一方向依次连通的第一通槽和第二通槽,第一通槽与第二通槽在第二方向的位置对应设置,第一通槽远离第二通槽的一端与进水口连通,第二通槽远离第一通槽的一端设有排水口,第一通槽的宽度a大于第二通槽的宽度b,第二通槽朝向第一通槽的一端设有产品放置位。本实用新型的直冲式清洗装置,提升产品在装置内的放置数量,提升清洗效率。
本实用新型一种直冲式清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种直冲式清洗装置,其特征在于:包括冲洗盖和冲洗盒,所述冲洗盖与所述冲洗盒连接,所述冲洗盖设有进水口,所述冲洗盒设有至少两个沿第一方向延伸的冲洗槽,相邻的所述冲洗槽沿第二方向间隔设置,所述冲洗槽包括沿第一方向依次连通的第一通槽和第二通槽,所述第一通槽与所述第二通槽在所述第二方向的位置对应设置,所述第一通槽远离所述第二通槽的一端与所述进水口连通,所述第二通槽远离所述第一通槽的一端设有排水口,所述第一通槽的宽度a大于所述第二通槽的宽度b,所述第二通槽朝向所述第一通槽的一端设有产品放置位; 其中,所述第一方向与所述第二方向相交。
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