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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利镀膜生产线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116219401B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310125234.8，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权镀膜生产线是由余仲;谭晓华;刘顺;张海涛;赵步举;杨福满;程培勇设计研发完成，并于2023-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本镀膜生产线在说明书摘要公布了：本发明公开了一种镀膜生产线，能够实现PECVD镀膜设备与HWCVD镀膜设备的连线，提高产能，降低成本。镀膜生产线，包括：卧式HWCVD设备，包括第一腔体、热丝模块以及第一水平运输机构，第一腔体设有第一镀膜腔，且第一腔体的前侧部设有第一进口，热丝模块设置于第一镀膜腔的内部，热丝模块包括多个热丝组件，多个热丝组件在水平方向上呈阵列式排布，每个热丝组件均包括热丝，每根热丝均包括第一竖向段、第二竖向段以及横向段，第一水平运输机构设置于第一镀膜腔的内部；卧式PECVD设备，包括设有第二镀膜腔的第二腔体、以及设置于第二镀膜腔内的第二水平运输机构，第二腔体的后侧部设有第二出口，第二出口与第一进口相互连通。

本发明授权镀膜生产线在权利要求书中公布了：1.一种镀膜生产线，其特征在于，包括： 卧式HWCVD设备，所述卧式HWCVD设备包括第一腔体、热丝模块以及第一水平运输机构，所述第一腔体设有第一镀膜腔，且所述第一腔体的前侧部设有第一进口，所述第一腔体的后侧部设有第一出口，所述热丝模块设置于所述第一镀膜腔的内部，所述热丝模块包括多个热丝组件，多个所述热丝组件在水平方向上呈阵列式排布，每个所述热丝组件均包括热丝，每根所述热丝均包括第一竖向段、第二竖向段以及横向段，其中，所述第一竖向段和所述第二竖向段均呈竖向设置，所述第一竖向段与所述第二竖向段沿水平方向间隔设置，所述横向段的两端分别与第一竖向段的底端和所述第二竖向段的底端连接，所述第一竖向段的顶端以及所述第二竖向段的顶端均与所述第一腔体的顶部连接，所述第一水平运输机构设置于所述第一镀膜腔的内部，并位于所述热丝模块的下方； 卧式PECVD设备，所述卧式PECVD设备包括设有第二镀膜腔的第二腔体、以及设置于所述第二镀膜腔内的第二水平运输机构，所述第二腔体的前侧部设有第二进口，所述第二腔体的后侧部设有第二出口，所述第二出口与所述第一进口相互连通； 其中，所述第二水平运输机构用于承载横向载板并能够将所述横向载板通过所述第二出口和所述第一进口输送至所述第一镀膜腔内并转移至所述第一水平运输机构上； 其中，所述第一竖向段的长度以及所述第二竖向段的长度均小于100mm，所述横向段的长度小于200mm。

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