买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请的专利光学邻近修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116413991B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111675780.6，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权光学邻近修正方法是由游林;严中稳设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学邻近修正方法在说明书摘要公布了：一种光学邻近修正方法，包括：提供初始版图，初始版图中包括沿第一方向排布的第一密集区、第一交界区、稀疏区、第二交界区以及第二密集区，第一密集区内具有若干平行于第二方向且沿第一方向排布的第一图形，第一交界区内具有第一边缘图形，第二密集区内具有若干平行于第二方向且沿第一方向排布的第二图形，第二交界区内具有第二边缘图形；获取第一边缘图形和第二边缘图形的环境信息；根据环境信息。通过所述光学邻近修正方法，能够具有针对性的根据每一种情形下第一边缘图形和第二边缘图形所处的环境，确定形成在稀疏区中的辅助图形的数量、位置和尺寸，以提升最终的光学邻近修正的效果。

本发明授权光学邻近修正方法在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近修正方法，其特征在于，包括： 提供初始版图，所述初始版图中包括沿第一方向排布的第一密集区、第一交界区、稀疏区、第二交界区以及第二密集区，所述第一交界区位于所述第一密集区和所述稀疏区之间，所述第二交界区位于所述第二密集区和所述稀疏区之间，所述稀疏区位于所述第一交界区和所述第二交界区之间，所述第一密集区内具有若干平行于第二方向且沿所述第一方向排布的第一图形，所述第一方向与所述第二方向相垂直，所述第一交界区内具有第一边缘图形，所述第二密集区内具有若干平行于所述第二方向且沿所述第一方向排布的第二图形，所述第二交界区内具有第二边缘图形； 获取所述第一边缘图形和所述第二边缘图形的环境信息； 根据所述环境信息，确定形成在所述稀疏区中的辅助图形的数量、位置和尺寸；其中， 相邻的所述第一图形之间具有第一中心距p1，相邻的所述第二图形之间具有第二中心距p2，所述第一中心距p1和所述第二中心距p2相等；所述第一图形具有第一宽度尺寸w1，所述第二图形具有第二宽度尺寸w2；所述第一宽度尺寸w1和所述第二宽度尺寸w2相等；所述第一边缘图形具有第一长度尺寸L1；所述第二边缘图形具有第二长度尺寸L2； 所述环境信息包括：所述第一边缘图形和所述第二边缘图形之间的边缘中心距D1；所述第一边缘图形在所述第二边缘图形上的投影长度Len；所述第一边缘图形的若干第一环境探测数据，所述第一环境探测数据用于记录以所述第一边缘图形的边沿为起点，朝所述第二方向或第三方向的预设区域范围内，是否存在周围图形，所述第二边缘图形的若干第二环境探测数据，所述第二环境探测数据用于记录以所述第二边缘图形的边沿为起点，朝所述第二方向或所述第三方向的预设区域范围内，是否存在周围图形； 若干所述第一环境探测数据包括：第一探测数据C1T、第二探测数据C2T、第三探测数据C1B以及第四探测数据C2B，其中，所述第一探测数据C1T根据欧几里得探测方法，以1倍的所述第一中心距p1的探测长度，在所述第一边缘图形的顶部向所述第二方向探测获取；所述第二探测数据C2T根据欧几里得探测方法，以2倍的所述第一中心距p1的探测长度，在所述第一边缘图形的顶部向所述第二方向探测获取；所述第三探测数据C1B根据欧几里得探测方法，以1倍的所述第一中心距p1的探测长度，在所述第一边缘图形的底部向所述第三方向探测获取；所述第四探测数据C2B根据欧几里得探测方法，以2倍的所述第一中心距p1的探测长度，在所述第一边缘图形的底部向所述第三方向探测获取；若干所述第二环境探测数据包括：第五探测数据C1T’、第六探测数据C2T’、第七探测数据C1B’以及第八探测数据C2B’，其中，所述第五探测数据C1T’根据欧几里得探测方法，以1倍的所述第二中心距p2的探测长度，在所述第二边缘图形的顶部向所述第二方向探测获取；所述第六探测数据C2T’根据欧几里得探测方法，以2倍的所述第二中心距p2的探测长度，在所述第二边缘图形的顶部向所述第二方向探测获取；所述第七探测数据C1B’根据欧几里得探测方法，以1倍的所述第二中心距p2的探测长度，在所述第二边缘图形的底部向所述第三方向探测获取；所述第八探测数据C2B’根据欧几里得探测方法，以2倍的所述第二中心距p2的探测长度，在所述第二边缘图形的底部向所述第三方向探测获取。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张江路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。