江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子体源的出气口散热水管结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120166617B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510644812.8，技术领域涉及：H05H1/28；该发明授权一种远程等离子体源的出气口散热水管结构是由潘小刚;束寅志;顾小军;张杰设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子体源的出气口散热水管结构在说明书摘要公布了：本发明公开了远程等离子体源领域内的一种远程等离子体源的出气口散热水管结构，包括多段式变径管道，管道由至少三段不同直径的管段依次连接组成，其中靠近出气口的管段直径大于远端管段直径，且靠近出气口的管段水道内径小于远端管段水道内径；管段长度、直径及水道内径基于等离子体源输入功率、气体流速及冷却液温升参数计算确定。该出气口散热水管结构通过变径设计平衡散热效率与流动阻力，确保散热需求与流动压降匹配，决了出气口局部温度过高导致的自由基复合问题，提升了解离率测量精度，且提升了散热效率。
本发明授权一种远程等离子体源的出气口散热水管结构在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体源的出气口散热水管结构，其特征在于：包括多段式变径管道，所述管道由至少三段不同直径的管段依次连接组成，其中靠近出气口的管段直径大于远端管段直径，且靠近出气口的管段水道内径小于远端管段水道内径；所述管段长度、直径及水道内径基于等离子体源输入功率、气体流速及冷却液温升参数计算确定，其中，第i段所述管段长度、直径及水道内径优化方式为： ； ； ； 其中，n为总段数，li为第i段管段的水道内径；、为第i段管段优化后的长度、直径；Li、Di为第i段管段当前长度、直径，∆Pi为第i段管段压降，ρ为水密度，v为冷却水流速，f为摩擦系数。
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