买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利化学机械抛光设备及晶圆传输方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120170631B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510647339.9，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权化学机械抛光设备及晶圆传输方法是由路新春;王同庆;夏佳琪;李长坤;王科设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械抛光设备及晶圆传输方法在说明书摘要公布了：本申请半导体晶圆加工技术领域，提供一种化学机械抛光设备及晶圆传输方法，化学机械抛光设备包括：抛光机构，包括承载头；装卸机构，包括驱动组件、支架和装卸组件；支架包括呈L形的竖直架和水平架以及固定到竖直架的滑块，装卸组件设置在水平架上；驱动组件与滑块滑动连接以驱动滑块上下移动，以使装卸组件在低工位和高工位之间移动；传输机构，包括传输基座和机械手，机械手包括机械臂和用于夹持晶圆的夹爪；夹爪配置成在装卸组件处于低工位时以高于装卸组件的高度水平移动到装卸组件上方并与其对准;装卸组件在夹爪移动到位后朝向夹爪移动以与夹爪交互晶圆，并在夹爪从其上方避让开后向上移动至高工位以与承载头交互晶圆。

本发明授权化学机械抛光设备及晶圆传输方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括： 抛光平台，其将所述化学机械抛光设备分隔成上方的抛光腔室和下方的传输腔室，并设有贯通所述抛光腔室和所述传输腔室的交互口； 抛光机构，位于所述抛光腔室中，包括承载晶圆至抛光盘进行抛光的承载头； 装卸机构，包括装卸组件和位于所述传输腔室中的驱动组件和支架；所述驱动组件设在所述装卸组件侧方；所述支架包括呈L形的竖直架和水平架以及固定到所述竖直架的滑块，所述装卸组件设在所述水平架上；所述驱动组件与所述滑块滑动连接以驱动所述滑块上下移动，以使所述装卸组件穿过所述交互口在所述传输腔室中的低工位和所述抛光腔室中的高工位之间移动，以在所述承载头和机械手之间直接上下传递晶圆； 传输机构，位于所述传输腔室中，包括设在所述水平架下方的传输基座和连接到所述传输基座的机械手，所述机械手包括机械臂和用于夹持晶圆的夹爪；所述夹爪配置成在所述装卸组件处于所述低工位时以高于所述装卸组件的高度水平移动到所述装卸组件上方并与其对准;所述装卸组件在所述夹爪移动到位后朝向所述夹爪移动以与所述夹爪交互晶圆，并在所述夹爪从其上方避让开后向上移动至所述高工位以与所述承载头交互晶圆； 接水盘，其与所述支架固定连接并位于所述水平架下方，所述接水盘到所述抛光平台的投影覆盖所述交互口，所述接水盘的外边缘具有竖直向上的翻边；在所述装卸组件移动至所述高工位时，所述接水盘允许机械手从其下方经过。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科(北京)科技有限公司，其通讯地址为：100000 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。