华海清科股份有限公司王科获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120170636B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510647400.X，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备是由王科;曹自立;李长坤;刘洪旺设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备，晶圆后处理装置包括：擦洗组件、支撑组件和夹持组件；擦洗组件包括擦洗臂、擦洗头和擦洗垫，擦洗垫安装在擦洗头上；支撑组件包括支撑臂和支撑头，支撑头的表面上分布有多个支撑流体喷孔；处理晶圆时，夹持组件夹持并带动晶圆旋转，晶圆位于擦洗垫和支撑头之间，支撑头的表面与晶圆正面具有间隙，擦洗垫以擦洗压力贴合晶圆背面并旋转，擦洗头和支撑头往复摆动，并在摆动过程中始终保持对位，擦洗流体通道向晶圆背面供应擦洗流体，支撑流体喷孔持续向晶圆正面喷出支撑流体，以使得支撑头表面不与晶圆正面接触；从而不损伤晶圆正面的同时，去除晶圆背面的污染物。
本发明授权一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆后处理装置，其特征在于，包括：擦洗组件、支撑组件和夹持组件； 擦洗组件包括擦洗臂、擦洗头、擦洗垫、旋转升降元件和擦洗流体通道，擦洗垫安装在擦洗头上； 支撑组件包括支撑臂和支撑头，支撑头的表面具有多个支撑流体喷孔； 处理晶圆时， 夹持组件夹持并带动晶圆旋转，晶圆位于擦洗垫和支撑头之间，支撑头的表面与晶圆正面具有间隙， 擦洗垫以擦洗压力贴合晶圆背面，并在擦洗头带动下旋转，擦洗流体通道向晶圆背面供应擦洗流体，擦洗头和支撑头在晶圆中心和晶圆边缘之间往复摆动，并在摆动过程中始终保持对位，支撑流体喷孔持续向晶圆正面喷出支撑流体，以支撑晶圆并使得支撑头的表面不与晶圆正面接触， 旋转升降元件通过升降擦洗头调节擦洗压力，以使得擦洗头位于晶圆中心和晶圆边缘时，晶圆发生不同形变，以有利于污染物排出； 从而不损伤晶圆正面的同时，去除晶圆背面的深层残留污染物、化学键合残留污染物或微观缺陷。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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