深圳中宝新材科技有限公司李盛伟获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中宝新材科技有限公司申请的专利一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120161314B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510639574.1,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法是由李盛伟;李妍琼设计研发完成,并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法在说明书摘要公布了:本发明涉及测量电变量技术领域,具体为一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法,包括以下步骤:使用电阻脉冲测量设备对半导体器件键合丝施加脉冲电流,同时记录键合点的即时电压响应,生成电压响应数据。本发明通过施加脉冲电流并记录键合点的即时电压响应,实现键合丝电阻动态特性的深入探测和分析,从而捕捉键合连接处微小的电阻波动;在动态电阻数据基础上,进一步实施频率扫描测量,获取不同频率下电阻的细致变化规律,直观呈现键合丝的电阻稳定性表现;随后借助对键合点周围电容异常区域的精确定位,配合动态负载条件下电流、电压响应特征的实时跟踪,系统性地揭示了键合连接在复杂环境条件下的可靠性表现。
本发明授权一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件键合丝的键合质量评定方法,其特征在于,包括以下步骤: 使用电阻脉冲测量设备对半导体器件键合丝施加脉冲电流,同时记录键合点的即时电压响应,生成电压响应数据;根据所述电压响应数据分析键合点在脉冲电流作用下的电阻动态变化,得到电阻动态特性分析结果; 基于所述电阻动态特性分析结果,对电阻动态特性分析结果的曲线进行频率扫描,测量不同频率下的电阻值,生成频率响应数据;通过对所述频率响应数据的评估,计算键合丝的电阻稳定性,得到电阻稳定性评估结果; 对键合点周围的电容进行测量,记录电容值,识别与正常键合相比电容值异常的区域,得到异常电容分析结果; 根据所述异常电容分析结果,应用动态负载电测试,记录在变化负载条件下的电压和电流响应,生成负载响应数据;通过对所述负载响应数据的分析,评估键合质量,得到键合质量综合评定结果; 所述键合质量综合评定结果的获取步骤为: 从所述负载响应数据中筛选完整周期样本段,提取每段内的峰值电压、峰值电流、基线电压和基线电流,并同步记录负载切换瞬间后的响应滞后时间和周期中电压极值出现的时间点,得到峰值与时序参数组; 基于所述峰值与时序参数组,计算键合完整性指数,计算公式为: ; 其中,为键合完整性指数,表示单周期负载响应中的峰值电压,表示单周期负载响应中的峰值电流,表示单周期基线电压,表示单周期基线电流,表示负载切换后至电压响应开始的滞后时间,表示该周期内电压峰值出现的时间点; 基于所述键合完整性指数,调用多个测试周期的键合完整性指数构建对比矩阵,进行横向区间分析和纵向趋势剖面分析,判定在所有测试周期中是否存在异常区段,形成键合质量综合评定结果。
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