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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利化学机械抛光设备及化学机械抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120134207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510632674.1，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权化学机械抛光设备及化学机械抛光方法是由李洪阳;陈映松;许振杰;李长坤;王科设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学机械抛光设备及化学机械抛光方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体晶圆加工技术领域,提供一种化学机械抛光设备及化学机械抛光方法。化学机械抛光设备包括：抛光盘；顶板，其下表面设有环形轨道；头组件，包括驱动装置和承载头，驱动装置的上端滑动安装到环形轨道以驱动头组件沿环形轨道滑动；驱动装置的侧部构造有凸出的限位部；顶板的下表面设有限位组件，包括第一挡块和第二挡块以及活动限位在二者之间的摆动限位件，摆动限位件与限位部在竖直方向上部分重叠，限位部经由摆动限位件在顺时针方向上由第一挡块限位、在逆时针方向上由第二挡块限位，以使头组件沿环形轨道的滑动范围为360至380度，使得头组件沿顺时针或逆时针均能回到初始位与交互杯对心交互。

本发明授权化学机械抛光设备及化学机械抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，用于晶圆加工，其特征在于，包括： 第一头组件、第二头组件、第三头组件，三者可相对移动； 两个抛光盘，包括粗抛光盘和精抛光盘； 三个交互杯，包括分别为位于第一头组件、第二头组件、第三头组件的初始位处的第一装卸杯、第二装卸杯、保湿杯；各个头组件在所述第一装卸杯或第二装卸杯处装卸晶圆或保湿等待抛光、在所述保湿杯处保湿等待抛光； 位于所述抛光盘上方的顶板，其下表面设有环形轨道； 所述头组件包括驱动装置和连接到所述驱动装置的下端的承载头，所述承载头用于承载晶圆至所述抛光盘处抛光，所述驱动装置的上端滑动安装到所述环形轨道以驱动所述头组件沿所述环形轨道滑动，所述驱动装置的侧部具有凸出的限位部； 所述顶板的下表面设有与所述头组件一一对应的限位组件，其包括沿与所述环形轨道同心的弧形间隔设置的第一挡块和第二挡块及活动限位在二者之间的摆动限位件，在顺时针方向上所述第一挡块位于所述第二挡块下游，所述摆动限位件与所述限位部在竖直方向上部分重叠，所述限位部经由所述摆动限位件在顺时针方向上由所述第一挡块限位、在逆时针方向上由所述第二挡块限位，以使所述头组件沿所述环形轨道的滑动范围为360至380度，使得所述头组件沿顺时针或逆时针均能回到初始位，与初始位处的交互杯对心交互； 每个限位组件尺寸相同且间隔设置在同一圆周上；每个头组件的限位部设置成可内外伸缩或可上下移动，所述头组件和与其对应的限位组件之间通信连接，以在靠近彼此时相互感应，来促使所述限位部的伸缩或移动，以在经过与其不对应的限位组件时收缩或向下移动进行避让，以及在经过与其对应的限位组件时伸出或向上移动进行限位；所述摆动限位件配置成分别与所述第一挡块和第二挡块磁性相斥，以形成磁性缓冲限位； 三个头组件中的一个或多个配置成在沿所述环形轨道滑动一圈进行晶圆抛光的过程中在所述环形轨道的局部范围内往复滑动以配合其他头组件的滑动，包括：在第一头组件和第二头组件顺时针滑动一圈进行粗抛光和精抛光的过程中，第三头组件依次顺时针移动到第二装卸杯装载晶圆、到粗抛光盘进行粗抛光；在第一头组件和第二头组件逆时针滑动执行下一次抛光的过程中，所述第三头组件逆时针回到所述精抛光盘进行精抛光，然后再顺时针回到第二装卸杯卸载晶圆。

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