北京量子信息科学研究院崔文强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京量子信息科学研究院申请的专利一种超高真空内多样品架兼容传样机械手及其传样方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120080335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510561267.6,技术领域涉及:B25J15/00;该发明授权一种超高真空内多样品架兼容传样机械手及其传样方法是由崔文强;邓鹏;常凯设计研发完成,并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空内多样品架兼容传样机械手及其传样方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超高真空内多样品架兼容传样机械手及其传样方法,涉及传样机械手技术领域,包括传样叉,所述传样叉的顶端设有2英寸晶圆抓手,传样叉的底端设有4英寸晶圆抓手,传样叉的一侧设有样品抓取机构;所述样品抓取机构包括套筒,套筒上分别开设有第一卡槽和第二卡槽。本发明针对OmicronMBE与STM系统、UnisokuMBE与STM系统、2英寸晶圆MBE、4英寸晶圆MBE的超高真空系统,制造了一种能够兼容4种样品架的传样机械手与存样机构,能够抓取四种4种样品架,存入同一真空腔内。因此,只需要利用其制造一台超高真空手提箱,即可解决把样品从以上四种不同超高真空系统中不经过大气直接传入氩气保护的手套箱的问题。
本发明授权一种超高真空内多样品架兼容传样机械手及其传样方法在权利要求书中公布了:1.一种超高真空内多样品架兼容传样机械手,包括传样叉(1),其特征在于:所述传样叉(1)的顶端设有2英寸晶圆抓手(101),传样叉(1)的底端设有4英寸晶圆抓手(102),传样叉(1)的一侧设有样品抓取机构(2); 所述样品抓取机构(2)包括套筒(201),套筒(201)上分别开设有第一卡槽(2011)和第二卡槽(2012),套筒(201)内活动安装有位移定子(203)和复位弹簧(202); 所述位移定子(203)内部安装有旋转定子(204),位移定子(203)上开设有第三卡槽(2032),旋转定子(204)上固定有第一限位柱(2041),第一限位柱(2041)通过第三卡槽(2032)延伸至位移定子(203)的外部,且第一限位柱(2041)通过第一卡槽(2011)延伸至套筒(201)外部,位移定子(203)上固定有第二限位柱(2031),第二限位柱(2031)通过第一卡槽(2011)延伸至套筒(201)外部。
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