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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利抛光清洗干燥一体机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120055988B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510525696.8，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权抛光清洗干燥一体机是由邹静设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本抛光清洗干燥一体机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种抛光清洗干燥一体机，涉及抛光技术领域，该抛光清洗干燥一体机包括粗抛光装置、精抛光装置、清洗干燥装置和抛光驱动装置，粗抛光装置包括多个依次分布的粗抛盘；精抛光装置包括多个依次分布的精抛盘，多个精抛盘对应设置在多个粗抛盘的后侧；清洗干燥装置设置在精抛光装置的后侧；抛光驱动装置包括驱动机构和多个抛光头，驱动机构与多个抛光头连接；多个抛光头能够将多个晶片对应放置于多个粗抛盘和多个精抛盘分别进行粗抛光和精抛光，多个抛光头还将多个晶片送入清洗干燥装置。相较于现有技术，本发明实施例提供的抛光清洗干燥一体机，能够实现多线抛光，抛光效率高，同时能够实现抛光、清洗和干燥一体化，简化了制造工序。

本发明授权抛光清洗干燥一体机在权利要求书中公布了：1.一种抛光清洗干燥一体机，其特征在于，包括： 粗抛光装置（110），粗抛光装置（110）包括多个依次分布的粗抛盘，粗抛盘用于对晶片实现粗抛光； 精抛光装置（120），精抛光装置（120）包括多个依次分布的精抛盘，多个精抛盘对应设置在多个粗抛盘的后侧，精抛盘用于对晶片实现精抛光； 清洗干燥装置（130），清洗干燥装置（130）设置在精抛光装置（120）的后侧，清洗干燥装置（130）用于对晶片实现清洗和干燥； 抛光驱动装置（140），抛光驱动装置（140）包括驱动机构（150）和多个抛光头，驱动机构（150）与多个抛光头连接，用于同步带动多个抛光头同步运动； 其中，多个抛光头用于分别吸附多个晶片，并在驱动机构（150）的带动下将多个晶片对应放置于多个粗抛盘进行粗抛光后再放置于多个精抛盘进行精抛光，多个抛光头还用于在驱动机构（150）的带动下将精抛光后的多个晶片送入清洗干燥装置（130）； 清洗干燥装置（130）包括清洗箱（131）、清洗平台（132）、抬升组件（135）和提升组件（180），清洗箱（131）内装有清洗液，并在底部一侧设置有铰接座（133），清洗平台（132）设置在清洗箱（131）内，且清洗平台（132）的一端可转动地连接于铰接座（133），另一端设置有多个晶片放置位，多个晶片放置位用于放置多个晶片，抬升组件（135）与清洗平台（132）远离铰接座（133）的一端传动连接，用于带动清洗平台（132）相对铰接座（133）转动，以抬升晶片放置位，并将清洗平台（132）抬升至与水平方向呈30°倾角的位置，提升组件（180）至少部分设置在清洗平台（132）上，用于带动晶片放置位上的晶片脱离清洗液进行干燥； 提升组件（180）包括提升驱动件（181）、导向块（182）、第一吸块（183）、第二吸块（184）和辅助驱动件（185），提升驱动件（181）设置在清洗平台（132）上靠近铰接座（133）的一端，导向块（182）滑动设置在清洗平台（132）上，并与提升驱动件（181）连接，导向块（182）用于在提升驱动件（181）的带动下沿清洗平台（132）滑动，第一吸块（183）与导向块（182）连接，用于吸附晶片的一侧边缘并在导向块（182）的带动下将晶片沿清洗平台（132）倾斜向上移动；清洗箱（131）远离铰接座（133）的一侧还设置有支撑架（136），辅助驱动件（185）设置在支撑架（136）上，第二吸块（184）连接于辅助驱动件（185），用于吸附晶片远离铰接座（133）的一侧边缘并在辅助驱动件（185）的带动下将晶片沿清洗平台（132）倾斜向上移动。

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