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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120033122B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510489709.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质是由李灯;刘洪旺;曹自立;李长坤设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体晶圆加工技术领域，提供一种竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质。竖直擦洗装置包括箱体和夹持组件、擦洗组件和旋转挡圈；夹持组件竖直夹持晶圆并驱动其旋转，清洗液在重力及晶圆旋转作用下涂覆晶圆正面；擦洗组件擦洗晶圆的正面；旋转挡圈的周向壁面包绕夹持组件并背离背板渐缩，夹持组件在装卸位和擦洗位之间可轴向伸缩；夹持组件包括固定夹爪和活动夹爪，分别用于夹持晶圆的下半部分边缘和上半部分边缘；在夹持组件向装卸位移动时，活动夹爪的径向外部由旋转挡圈止挡以使活动夹爪背离晶圆转动而张开；在夹持组件向擦洗位收缩时，活动夹爪自动朝向晶圆转动而收回以夹持晶圆。

本发明授权竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种竖直擦洗装置，其特征在于，所述竖直擦洗装置包括箱体、安装到所述箱体的背板的夹持组件和擦洗组件及与所述夹持组件同轴设置的旋转挡圈；所述夹持组件用于竖直夹持晶圆并驱动晶圆旋转，提供至所述晶圆的正面的清洗液在重力及晶圆旋转作用下涂覆所述晶圆的正面；所述擦洗组件配置成擦洗所述晶圆的正面；所述旋转挡圈的周向壁面包绕所述夹持组件并背离所述背板渐缩，所述夹持组件在自所述旋转挡圈伸出的装卸位和收缩至所述旋转挡圈中的擦洗位之间可轴向伸缩； 所述夹持组件包括设于其下半部分的固定夹爪和设于其上半部分的活动夹爪，分别用于夹持所述晶圆的下半部分边缘和上半部分边缘；所述夹持组件向装卸位移动时，所述活动夹爪的径向外部由所述旋转挡圈止挡以使所述活动夹爪背离所述晶圆转动而张开；所述夹持组件向擦洗位收缩时，所述活动夹爪自动朝向所述晶圆转动而收回以夹持所述晶圆； 所述活动夹爪包括安装座、夹爪本体和复位器，所述夹爪本体能够绕所述安装座上的转动轴转动并且在其背对所述安装座的一侧构造有夹持部，所述复位器配置成在所述夹爪本体的径向外端和所述转动轴之间抵靠在所述夹爪本体的背部，所述复位器在所述活动夹爪张开时由所述夹爪本体抵压而收缩、以及在所述活动夹爪与所述旋转挡圈分离时推动所述夹爪本体转动收回。

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