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淮安捷泰新能源科技有限公司安欣睿获国家专利权

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龙图腾网获悉淮安捷泰新能源科技有限公司申请的专利P+发射极、含有P+发射极的太阳能电池及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119364905B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411889457.2,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权P+发射极、含有P+发射极的太阳能电池及制备方法是由安欣睿;高康;金竹;周声耀设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

P+发射极、含有P+发射极的太阳能电池及制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及P+发射极、含有P+发射极的太阳能电池及制备方法。本发明提供的P+发射极的制备方法,采用低温沉积的手段分层沉积BSG,即第一膜层、第二膜层;其中,所述的第一膜层为具有硼源的掺杂层,且所述的第一膜层的厚度低,因此制备过程中所使用的特气耗量较少,所述第二膜层为二氧化硅层,其制备过程中无需特气,且沉积速率快;基于此,能够降低整体工艺的耗时、以及成本;此外,所述第一膜层、第二膜层为两个相互独立的功能层,增加了工艺、调试的灵活性。

本发明授权P+发射极、含有P+发射极的太阳能电池及制备方法在权利要求书中公布了:1.P+发射极的制备方法,其特征在于,包括: 1)通过低温沉积在硅片表面形成第一膜层,所述第一膜层含有氧化硅和掺硼的非晶硅; 其中,所述第一膜层的厚度为5-15nm; 所述低温沉积的温度不超过600℃; 以所述掺硼的非晶硅和氧化硅总和为100wt%计算,第一膜层中所述掺硼的非晶硅的量为80-90wt%; 2)通过低温沉积在硅片表面形成第二膜层,所述第二膜层为氧化硅层,厚度为20-110nm; 所述低温沉积的温度不超过600℃; 3)对所述硅片表面进行激光处理,在所述激光处理的区域形成硼的重掺杂区; 若所述第二膜层的厚度为10≤厚度≤40nm,则激光处理的波长为300-500nm;若所述第二膜层的厚度为40<厚度≤80nm,则激光处理的波长为520~800nm;若所述第二膜层的厚度为80<厚度≤200nm,则激光处理的波长为850-1100nm; 4)利用含碱液体对所述硅片表面进行激光处理的区域进行刻蚀处理; 5)利用含酸液体对所述硅片表面进行刻蚀处理,去除第二膜层; 6)对所述硅片进行高温退火处理,使表面的第一膜层氧化;所述高温退火的温度范围为800-950°C,退火时间为0.2-1小时; 7)利用含酸液体对所述硅片表面进行刻蚀处理,去除高温形成的氧化硅; 最终,所述P+发射极的硼的重掺杂区的硼掺杂表面浓度为1e18-1e20cm-3、掺杂结深为200-2000nm、方阻为20-200Ωsq。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人淮安捷泰新能源科技有限公司,其通讯地址为:223400 江苏省淮安市涟水县经济开发区迎宾大道8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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