无锡影速半导体科技有限公司周俊晨获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆旋转式激光直写曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244976U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422787423.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种晶圆旋转式激光直写曝光设备是由周俊晨;戈明康;刘杨;吴长江设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆旋转式激光直写曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆旋转式激光直写曝光设备，包括：底座，所述底座设置有第一导轨；多个工作台，多个所述工作台可移动地连接于若干个所述第一导轨，所述工作台包括承载盘，每个所述工作台被配置为能够带动放置在所述承载盘上的待扫描件沿第一方向移动；曝光组件，所述曝光组件被配置为扫描所述待扫描件；对准组件，所述对准组件被配置为校准所述待扫描件在所述承载盘的位置；其中，每个工作台包括用于驱动待扫描件旋转的旋转机构。该设备采用中心对位，旋转曝光，代替了传统的直线往复对位曝光方式，在不增加额外避振结构的情况下，有效避免了振动，在双工作台情况下，避免了双工作台往复运动带来的共振，极大提高了对位精度和曝光精度。
本实用新型一种晶圆旋转式激光直写曝光设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆旋转式激光直写曝光设备，其特征在于，包括： 底座，所述底座设置有第一导轨； 多个工作台，多个所述工作台可移动地连接于若干个所述第一导轨，所述工作台包括承载盘，每个所述工作台被配置为能够带动放置在所述承载盘上的待扫描件沿第一方向移动； 曝光组件，所述曝光组件被配置为扫描所述待扫描件； 对准组件，所述对准组件被配置为校准所述待扫描件在所述承载盘的位置； 其中，每个所述工作台包括用于驱动所述待扫描件旋转的旋转机构。
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