捷捷微电(南通)科技有限公司李文通获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种防掉温装置与半导体加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245571U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422617945.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种防掉温装置与半导体加工系统是由李文通;吕明;宗亮亮设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防掉温装置与半导体加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种防掉温装置与半导体加工系统，涉及半导体技术领域。该防掉温装置应用于刻蚀设备，刻蚀设备包括工艺腔体与加热模块，加热模块位于工艺腔体内，防掉温装置包括控制器、不间断电源、开关模块以及温度传感器，控制器分别与开关模块、温度传感器电连接，不间断电源、开关模块以及加热模块依次电连接，温度传感器安装于工艺腔体的表面；其中，温度传感器用于采集温度数据；控制器用于在温度数据低于阈值时，控制开关模块导通；且当开关模块导通时，不间断电源用于为加热模块供电。由于本申请提供的防掉温装置中，通过设置温度传感器采集工艺腔体的表面温度确定是否利用不间断电源供电。本申请提供具有降低了生产成本的优点。
本实用新型一种防掉温装置与半导体加工系统在权利要求书中公布了：1.一种防掉温装置，其特征在于，应用于刻蚀设备，所述刻蚀设备包括工艺腔体与加热模块，所述加热模块位于所述工艺腔体内，所述防掉温装置包括控制器、不间断电源、开关模块以及温度传感器，所述控制器分别与所述开关模块、所述温度传感器电连接，所述不间断电源、所述开关模块以及加热模块依次电连接，所述温度传感器安装于工艺腔体的表面；其中， 所述温度传感器用于采集温度数据； 所述控制器用于在所述温度数据低于阈值时，控制所述开关模块导通；且当所述开关模块导通时，所述不间断电源用于为所述加热模块供电。
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