华海清科(北京)科技有限公司张美美获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利一种晶圆翻转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173828.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆翻转装置是由张美美;刘效岩;徐俊成设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆翻转装置，其包括：支撑组件，以支撑待翻转的晶圆；夹紧组件，其设置于所述支撑组件上方，以侧向夹紧待翻转的晶圆；翻转驱动组件，其连接于所述夹紧组件，以带动夹紧组件及其上的晶圆翻转；所述支撑组件包括多个支撑件，以处理多片待翻转的晶圆。
本发明授权一种晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括： 支撑组件，以支撑待翻转的晶圆； 夹紧组件，其设置于所述支撑组件上方，以侧向夹紧待翻转的晶圆； 翻转驱动组件，其连接于所述夹紧组件，以带动夹紧组件及其上的晶圆翻转； 所述支撑组件包括多个支撑件，以处理多片待翻转的晶圆； 所述支撑件的顶面配置有限位槽，其自该顶面向下延伸设置； 所述支撑组件的数量为一对，其包括支撑架和连接板，所述连接板倾斜设置于支撑架的下方。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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