费勉仪器科技(上海)有限公司阿力甫·库提鲁克获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利蒸发源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116180020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310147081.7，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权蒸发源是由阿力甫·库提鲁克;梅新灵;栾佳杰;陈亚男;洪巍;方农华设计研发完成，并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发源在说明书摘要公布了：本公开提供了一种蒸发源，蒸发源包括：电子束发射器，用于发射电子束；偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和或聚焦电子束,轰击蒸发材料；扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变电子束的轰击位置。
本发明授权蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种蒸发源，其特征在于，包括： 电子束发射器，用于发射电子束； 偏转磁场组件，用于产生偏转磁场，以偏转和或聚焦所述电子束,轰击蒸发材料； 扫描磁场组件，用于产生扫描磁场，以改变所述电子束的轰击位置，所述扫描磁场组件包括至少一个第一扫描组件、至少一个第二扫描组件、至少一个扫描磁体和扫描导磁体组件； 所述第一扫描组件包括： 第一磁芯；以及 第一线圈，缠绕在所述第一磁芯上，用于产生扫描横向磁场， 所述第二扫描组件包括： 至少一个第二磁芯；以及 至少一个第二线圈，所述第二线圈缠绕在所述第二磁芯上，用于产生扫描纵向磁场； 所述扫描导磁体组件，与所述至少一个扫描磁体磁耦合，所述扫描导磁体组件包括： 第一扫描导磁体，设置在所述电子束发射器的第一侧；以及 第二扫描导磁体，设置在所述电子束发射器的第二侧，所述第二侧与所述第一侧相对。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人费勉仪器科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201900 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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