青岛歌尔智能传感器有限公司李向光获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛歌尔智能传感器有限公司申请的专利一种压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115127717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210741854.X,技术领域涉及:G01L9/00;该发明授权一种压力传感器是由李向光;庞丹;闫文明设计研发完成,并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压力传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种压力传感器,包括衬底,衬底上依次设置有第一敏感膜、第一真空腔、第二敏感膜和第二真空腔,第一敏感膜的面积大于第二敏感膜的面积,第一敏感膜或第二敏感膜上设置有位于第一真空腔的凸起结构;第一敏感膜的周围设置有与其连接的第一压敏电阻;第二敏感膜的周围设置有与其连接的第二压敏电阻。工作在低量程时第一敏感膜形变,第一敏感膜和第二敏感膜未接触,第二敏感膜不会发生形变,低量程有输出高量程无输出;工作在高量程时,第一敏感膜发生形变后,在凸起结构的作用下第一敏感膜和第二敏感膜接触,第二敏感膜产生形变,传感器高量程有输出。可见,本发明的传感器可测量双量程,从而降低了所应用设备的成本和空间。
本发明授权一种压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器,包括衬底,其特征在于,所述衬底上依次设置有第一敏感膜、第一真空腔、第二敏感膜和第二真空腔,且所述第一敏感膜的面积大于所述第二敏感膜的面积,所述第一敏感膜或所述第二敏感膜上设置有位于所述第一真空腔的凸起结构; 所述第一敏感膜的周围设置有与其连接的第一压敏电阻; 所述第二敏感膜的周围设置有与其连接的第二压敏电阻; 所述第一压敏电阻和所述第二压敏电阻连接为惠斯通电阻桥; 所述衬底的表面还设置焊盘,所述焊盘包括输出端OUT1和输出端OUT2,所示输出端OUT1与所述第一压敏电阻电连接,所述输出端OUT2与所述第二压敏电阻电连接; 低量程时所述输出端OUT1输出外部压力对应的电压信号,高量程时所述输出端OUT2输出外部压力对应的电压信号。
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