应用材料公司J·C·罗查-阿尔瓦雷斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利加热的陶瓷面板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111954927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980024717.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权加热的陶瓷面板是由J·C·罗查-阿尔瓦雷斯;D·H·考齐设计研发完成，并于2019-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热的陶瓷面板在说明书摘要公布了：公开一种用于在处理腔室内分配气体的装置。所述装置具有主体，所述主体由分配部分形成，所述分配部分被耦接部分环绕。加热器设置在所述分配部分内，以将所述主体加热到高温。桥接件延伸在所述耦接部分与所述分配部分之间。所述桥接件限制所述分配部分与所述耦接部分之间的热传递。
本发明授权加热的陶瓷面板在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的面板，包括： 主体，其中所述主体包括： 第一层，包括第一电极； 第二层，包括加热器； 第三层，包括接地电极；以及 粘结层，设置在所述第一层与所述第二层之间和所述第二层与所述第三层之间； 多个孔径，所述多个孔径被形成为穿过所述主体并且具有第一端和第二端，其中所述第一端位于所述第三层的外表面处，并且每个孔径的所述第二端流体地耦接到设置在所述第一层中的一个或多个喷嘴；和 桥接件，所述桥接件从所述第三层垂直地延伸，所述桥接件包括热扼流圈。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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