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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利等离子设备的排气调节装置及等离子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120261250B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510717339.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子设备的排气调节装置及等离子设备是由李可;涂乐义;王亮;向浪;陈英杰;颜羽设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子设备的排气调节装置及等离子设备在说明书摘要公布了：本公开的一种等离子设备的排气调节装置及等离子设备，涉及等离子设备领域，等离子设备包括反应腔、位于反应腔内且供承载晶圆的承载部、位于承载部一侧的排气口及套在承载部外部且沿周向均布多个排气孔的排气件。排气调节装置包括第一挡气件和第二挡气件。第一挡气件供回挡气体地设在排气件的出气侧，且与排气口位于承载部异侧。第二挡气件供回挡气体地设在排气件的出气侧，且与排气口位于承载部同侧。且第二挡气件形成的对排出气流的第二挡气面积大于第一挡气件对排出气流的第一挡气面积，以均衡同侧与异侧的气流速度。本公开有助于减小排气口异侧区域内与同侧区域内排气的气流速度差，均衡排气口异侧空间内和排气口同侧空间内的气流速度。

本发明授权等离子设备的排气调节装置及等离子设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子设备的排气调节装置，其特征在于，等离子设备包括反应腔、位于反应腔内且供承载晶圆的承载部、位于所述承载部一侧的排气口及套在所述承载部外部且沿周向均布多个排气孔的排气件；所述排气调节装置包括： 第一挡气件，供回挡气体地设在所述排气件的出气侧，且与所述排气口位于所述承载部异侧；以及 第二挡气件，供回挡气体地设在所述排气件的出气侧，且与所述排气口位于所述承载部同侧；且所述第二挡气件形成的对排出气流的第二挡气面积大于所述第一挡气件对排出气流的第一挡气面积，以均衡同侧与异侧的气流速度；其中，所述第一挡气件与所述排气件之间的间距和或所述第一挡气件的第一挡气面积可调地设置，以调节所述异侧的气流速度；所述第二挡气件与所述排气件之间的间距和或所述第二挡气件的第二挡气面积可调地设置，以调节所述同侧的气流速度； 第一流速监测件，设在所述反应腔内，且与所述排气口异侧地设在所述排气件的出气侧，用于监测所述异侧的第一气流速度； 第二流速监测件，设在所述反应腔内，且与所述排气口同侧地设在所述排气件的出气侧，用于监测所述同侧的第二气流速度；以及 控制单元，与所述第一流速监测件、所述第二流速监测件、所述第一挡气件和所述第二挡气件相连，用于根据所述第二气流速度和所述第一气流速度的速度差大于预设阈值，控制所述第一挡气件和所述第二挡气件中至少一者的挡气面积变化和或与所述排气件之间的间距变化，直至所述速度差在预设阈值以内。

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