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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120252543B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510681510.8，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法是由张旭东;朱强;温梓彤;王方彪设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法，包括确定将标定台阶放入激光干涉测量装置，移动反射镜距离获得干涉图像，处理所述干涉图像获得台阶面相位分布图，根据台阶边界确定计算点位置并计算台阶测量结果，根据台阶测量结果和台阶标定值偏差优化装置参数获得装置最优参数，构建台阶装置参数库，根据待测量台阶的台阶参数匹配台阶装置参数库中的装置最优参数获得参考装置参数并调整所述激光干涉测量装置，采用调整后激光干涉测量装置测量待测台阶获得台阶高度和台阶平面度。该方法可以及时准确地测量台阶高度及平面度，同时对于推动微纳制造领域高精度测量技术的发展具有重要意义。

本发明授权一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于激光干涉法的台阶高度及平面度测量方法，包括以下步骤： S1、将标定台阶放入激光干涉测量装置中，将入射光通过干涉透镜获得第一反射光和第一透射光，测定入射光、第一反射光和第一透射光的强度；入射光包括参考光和测量光；第一反射光包括第一参考、第一测量反射光；第一透射光包括第一参考、第一测量透射光； 计算第一参考反射光强度与第一参考透射光强度差值的绝对值与参考光强度的比值获得参考光分配偏差，计算第一测量反射光强度与第一测量透射光强度差值的绝对值与测量光强度的比值获得测量光分配偏差，计算参考光分配偏差和测量光分配偏差均值获得光束强度分配偏差，选择光束强度分配偏差小于0.2对应的干涉透镜的折射率为折射率范围； 调整包括x、y轴在内的载物台偏转角度获得干涉条纹，并测定干涉条纹参数；干涉条纹由第二反射光和第三反射光在干涉透镜处重合形成；第二反射光由第一反射光通过台阶面沿原路反射形成；第三反射光由第一透射光通过反射镜沿原路反射形成；干涉条纹参数包括对比度、间距和倾斜度； 调整载物台偏转角度，选择干涉条纹参数符合干涉条纹参数规则的载物台偏转角度组成载物台偏转角度范围； S2、调整激光干涉测量装置的反射镜距离获得干涉图像，处理干涉图像获得台阶面相位分布图，根据台阶边界确定计算点位置，根据计算点位置和台阶面相位分布图计算包括台阶测量高度、平面度在内的台阶测量结果； S3、根据台阶测量结果、标定值偏差在折射率范围和载物台偏转角度范围内优化装置参数获得装置最优参数；台阶标定值包括台阶标定高度、平面度； S4、将包括台阶粗测高度、长度、宽度和阶数在内的台阶参数与装置最优参数组成一组台阶装置参数，获取多组标定台阶的台阶装置参数组成台阶装置参数库； S5、根据待测量台阶的台阶参数匹配台阶装置参数库中的装置最优参数获得参考装置参数并调整激光干涉测量装置，采用调整后激光干涉测量装置测量待测台阶获得台阶高度、平面度。

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