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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利清洁片需求评估方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120146534B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510623425.6，技术领域涉及：G06Q10/0631；该发明授权清洁片需求评估方法、装置、设备及存储介质是由尹成龙;傅慧初;郭宇翔;刘斌;安书墨;张羽霏设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本清洁片需求评估方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及清洁片需求评估方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取生产任务的物料信息和加工腔室的配置信息以生成用于确认需求清洁片信息的第一预分配方案，判断获取的清洁片供给信息是否可满足需求清洁片信息；若不满足，则检查生产任务的状态；若生产任务进行中，则调整加工腔室的配置信息以生成第二预分配方案；采用所述第二预分配方案替换第一预分配方案，并返回执行基于所生成的第一预分配方案确认需求清洁片信息；本申请公开的方法，通过对供给清洁片信息与需求清洁片信息的评估，以调整预分配方案，从而避免了在算法规划过程中，因清洁片缺失导致整个任务动作序列被删除，进而引起的无效时间消耗。

本发明授权清洁片需求评估方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种清洁片需求评估方法，其特征在于，包括： 获取生产任务的物料信息和加工腔室的配置信息，基于物料信息和配置信息生成第一预分配方案；具体的，所述物料信息包括生产子任务的数量以及与生产子任务对应的路径配方和待加工晶圆数量；所述配置信息包括加工腔室的数量以及与加工腔室对应的路径配方、初始加工累计值和累计加工限定值；根据待加工晶圆数量、初始加工累计值和累计加工限定值确认第一类型清洁组数上限值；根据待加工晶圆数量和加工腔室的数量确认第二类型清洁组数上限值；根据物料信息和配置信息生成第一预分配方案，所生成的第一预分配方案的清洁组数同时满足第一类型清洁组数上限值和第二类型清洁组数上限值； 基于所生成的第一预分配方案确认需求清洁片信息，所述需求清洁片信息包括需求清洁片的类型及与类型对应的数量； 获取清洁片供给信息，判断清洁片供给信息是否可满足需求清洁片信息； 若无法满足，则判断生产任务是否进行中； 若生产任务进行中，则调整加工腔室的配置信息，并基于物料信息和调整后的配置信息生成第二预分配方案；具体的，若生产任务进行中，则减少加工腔室的数量以调整加工腔室的配置信息；根据待加工晶圆数量、初始加工累计值和累计加工限定值确认第一类型清洁组数上限值；根据待加工晶圆数量和调整后的加工腔室的数量确认第二类型清洁组数上限值；根据物料信息和配置信息生成第二预分配方案，所生成的第二预分配方案的清洁组数同时满足第一类型清洁组数上限值和第二类型清洁组数上限值； 采用所述第二预分配方案替换第一预分配方案，并返回执行基于所生成的第一预分配方案确认需求清洁片信息，以确保在清洁片不足的情况下，能够及时调整第一预分配方案，避免晶圆调度方案的中断。

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