淄博电子化学试剂科技有限公司武斌获国家专利权
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龙图腾网获悉淄博电子化学试剂科技有限公司申请的专利一种碱性蚀刻液及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120119254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510607928.4，技术领域涉及：C23F1/40；该发明授权一种碱性蚀刻液及其制备方法是由武斌;马康;刘文斌;田雯娟;董晓慧;陈明宽;孙维旺设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碱性蚀刻液及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请属于半导体蚀刻液技术领域，具体提供一种碱性蚀刻液及其制备方法，碱性蚀刻液包括以下质量百分数的组分：碱40‑50%，铝盐3‑5%，氯化物添加剂1‑3%，表面活性剂0.8‑1.2%，余量为高纯水；所述氯化物添加剂包括氯盐，所述表面活性剂包括改性多糖。本申请制得的碱性蚀刻液具有刻蚀速度快、表面质量好的优点。
本发明授权一种碱性蚀刻液及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碱性蚀刻液，其特征在于：包括以下质量百分数的组分：碱40-50%，铝盐3-5%，氯化物添加剂1-3%，表面活性剂0.8-1.2%，余量为高纯水；所述碱为氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、季铵碱、季磷碱中的一种或多种；所述氯化物添加剂包括氯盐，所述表面活性剂包括改性多糖；所述改性多糖采用如下的制备方法制得： 1）取去离子水、多糖混合均匀，然后加入蛋白酶进行去蛋白反应，然后升温使蛋白酶失活，冷却后离心去除沉淀，得到前置液；去离子水、多糖的质量比为1:0.1-0.2；蛋白酶为蛋白水解酶； 2）向无水乙醇中加入苯丙氨酸、醛化合物、氢氧化钾，混合均匀后在55-65℃温度下反应，旋蒸后得到中间料；苯丙氨酸、醛化合物的摩尔比为1:1.5-2； 3）向前置液中加入中间料，混合均匀后加入环糊精衍生物，室温搅拌处理，然后40-50℃温度下干燥，得到改性多糖；前置液与中间料的质量比为1:0.5-0.75；环糊精衍生物的加入量占中间料质量的5-10%。
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