买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请的专利一种溶体碳化硅晶片清洗装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120109058B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510581775.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种溶体碳化硅晶片清洗装置及其方法是由张桂华;刘畅;刘锦豪;伊小念设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溶体碳化硅晶片清洗装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种溶体碳化硅晶片清洗装置及其方法，包括清洗外框架，清洗网框，清洗网框用于放置溶体碳化硅晶片；清洁组件用于对溶体碳化硅晶片进行辅助的清洁，夹持固定组件用于对溶体碳化硅晶片进行夹持、固定，高度控制组件用于对清洗网框的高度进行调节，在清洗网框高度调节的过程中推动转动组件运行，有对清洗网框转动。本发明利用夹持固定组件可对溶体碳化硅晶片进行夹持、固定，利用转动组件可对溶体碳化硅晶片进行冲洗，同时通过高度控制组件可调节清洗网框和溶体碳化硅晶片的高度，且在高度调节时可使清洗网框和溶体碳化硅晶片转动，实现利用冲洗和浸泡结合的方式对溶体碳化硅晶片进行清洗，从而提高清洗效果。

本发明授权一种溶体碳化硅晶片清洗装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种溶体碳化硅晶片清洗装置，包括清洗外框架（1），其特征在于，所述溶体碳化硅晶片清洗装置还包括：清洗网框（2），所述清洗外框架（1）内腔处设置有两个清洗网框（2），所述清洗网框（2）用于放置溶体碳化硅晶片； 清固模块，所述清固模块包括多个分隔框架（3），所述清洗网框（2）内设置有多个分隔框架（3），所述分隔框架（3）内部设置有动力组件（4），所述分隔框架（3）两侧均设置有清洁组件（5），且所述清洁组件（5）与动力组件（4）连接，两个所述分隔框架（3）之间的位置设置有夹持固定组件（6），所述夹持固定组件（6）两端分别与清洁组件（5）连接，其中所述清洁组件（5）用于对溶体碳化硅晶片进行辅助的清洁，夹持固定组件（6）用于对溶体碳化硅晶片进行夹持、固定； 调节模块，所述调节模块包括高度控制组件（7）和转动组件（8），所述高度控制组件（7）安装于清洗外框架（1）内腔顶部，所述高度控制组件（7）下部与转动组件（8）连接，且所述高度控制组件（7）和转动组件（8）分别与清洗网框（2）连接，所述高度控制组件（7）用于对清洗网框（2）的高度进行调节，在清洗网框（2）高度调节的过程中推动转动组件（8）运行，力有对清洗网框（2）转动； 清洗组件（9），所述清洗组件（9）安装于清洗外框架（1）顶部，所述清洗组件（9）用于向清洗外框架（1）内喷洒清洗液； 所述动力组件（4）包括传动轴（41），所述传动轴（41）一端与分隔框架（3）内壁转动连接，所述传动轴（41）另一端分别与分隔框架（3）和清洗网框（2）可转动地贯穿连接； 所述传动轴（41）表面固接有中心锥齿轮（42）所述中心锥齿轮（42）两侧均啮合连接有侧锥齿轮（43）； 所述侧锥齿轮（43）一侧连接有输出轴（44），所述输出轴（44）与分隔框架（3）侧面可转动地贯穿连接，所述输出轴（44）远离侧锥齿轮（43）的一端与清洁组件（5）连接； 所述清洗网框（2）表面安装有防护外壳（49），所述防护外壳（49）内腔处安装有双轴动力源（45）； 所述双轴动力源（45）的两个输出端均连接有安装轴（46），所述安装轴（46）表面连接有多个锥齿轮一（47），所述锥齿轮一（47）侧面啮合连接有锥齿轮二（48），所述锥齿轮二（48）与传动轴（41）一端连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司，其通讯地址为：518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。