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龙图腾网获悉深圳市川世达科技有限公司申请的专利一种半导体检测设备的智能标定方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120046084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510520034.1，技术领域涉及：G06F18/2433；该发明授权一种半导体检测设备的智能标定方法及系统是由李毅承设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体检测设备的智能标定方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体检测设备的智能标定方法及系统，具体涉及半导体检测设备领域，用于解决校准误差溯源问题，是通过对测量数据进行时间序列化拆分，并构建测量时间格与测量区域的对应关系，使得误差的来源可以在时间和空间上被精准定位，同时结合对测量误差趋势的深度分析，识别误差是短期波动还是长期异常，从而区分偶然误差和硬件故障，在误差属于短期波动的情况下，依据测量时间格回溯上一次测量数据，并筛选环境稳定的区间，确定误差最早发生的位置及其对应的测量区域，针对该区域执行局部校准，避免传统方法中全流程重复执行的冗余操作，使得半导体检测设备在高精度需求下仍能维持较高的测量稳定性和数据可靠性。

本发明授权一种半导体检测设备的智能标定方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测设备的智能标定方法，其特征在于，包括步骤： S1：在开始校准时，对固定采样点和时间间隔内的测量数据和环境数据进行预处理，并按测量时间格拆分建立样本； S2：提取当前测量误差与历史测量数据之间的偏离程度，并结合环境条件的影响量化其稳定性，同时计算测量时间格内的误差波动范围，结合时间因素调整计算得到偏差幅度； 步骤S2包括以下内容： 提取当前测量误差与历史测量数据之间的偏离程度，并结合环境条件的影响量化其稳定性，通过度量得出时变熵弥散指数，处理步骤如下： 设定测量时间格内的当前测量误差为，历史测量误差为，其中表示时间格索引，表示时间格内的采样点索引，代表经过归一化处理的测量误差；误差偏离采用以下公式计算：；其中，为时间格内归一化后的环境影响因子；时变熵弥散指数定义如下：；其中，为时间格内的数据点数，为时间格的中心时刻，为测量基准时刻，为时间归一化参数； 计算测量时间格内的误差波动范围，结合时间因素调整计算得到偏差幅度，最终获得时域波纹跃变指数，处理步骤如下： 在每个测量时间格内，对相邻采样点间的误差变化进行指数尺度变换，设定归一化测量误差为，则误差跃变值定义为：；其中，为敏感度调整参数，时域波纹跃变指数计算如下：；其中，为时间格的持续时间，为时间平衡常数； S3：提取整体误差趋势，并与历史稳定状态进行对比，形成综合偏离度，并与设定的参考界限进行匹配，判断是否属于硬件故障； 设定测量时间格索引为，在时间格内对时变熵弥散指数和时域波纹跃变指数进行双重差分变换；之后，对时变熵弥散指数和时域波纹跃变指数的变换结果进行时序积分，以获取整体误差趋势； S4：若判定误差属于非硬件故障，回溯上一次测量数据，按测量时间格对齐历史误差数据，并检查各时间格内的环境变化程度，筛选出稳定区间，确定误差最先出现的测量时间格及对应的测量区域； S5：根据确定的测量时间格和对应测量区域，按照预设规则重新执行对应测量区域的局部校准。

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