合肥安德科铭半导体科技有限公司张学奇获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥安德科铭半导体科技有限公司申请的专利一种胺基金属前驱体的生产方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119930709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510425966.8,技术领域涉及:C07F17/00;该发明授权一种胺基金属前驱体的生产方法是由张学奇;李丽君;唐超;朱思坤;李建恒设计研发完成,并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种胺基金属前驱体的生产方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种胺基金属前驱体的生产方法,属于半导体前驱体材料技术领域,生产方法包括如下步骤:步骤S1、将金属氧化物、有机溶剂、三烷基卤化硅烷和质子性反应物混合后进行反应,得到反应液A1;步骤S2、将二烷基胺加入反应液A1中反应得到反应液A2;S3、蒸馏或加入环戊二烯单体反应。在本发明中,通过采用金属氧化物、三烷基卤化硅烷和质子性反应物的反应路线,充分解决了生产成本高、原料难储存与生产的安全性问题,不仅从源头上有效控制了成本支出,成功规避了传统工艺中常用但危险性极高的丁基锂试剂,极大地提升了整个工艺的安全性,减少了潜在的安全风险,还有效提升了工艺效率,缩短了工艺消耗时间。
本发明授权一种胺基金属前驱体的生产方法在权利要求书中公布了:1.一种胺基金属前驱体的生产方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤S1、将金属氧化物、有机溶剂、三烷基卤化硅烷和质子性反应物混合后进行反应,得到反应液A1;有机溶剂为乙二醇二甲醚,质子性反应物为甲醇或乙醇;加入质子性反应物进行反应的反应时间为12-24h; 步骤S2、将二烷基胺加入反应液A1中反应得到反应液A2;在温度为0℃以下,将二烷基胺加入反应液A1中;步骤S2中进行反应得到反应液A2的反应温度为60℃~100℃; 步骤S3、将反应液A2蒸馏得到四(二烷基胺基)金属前驱体;或者将环戊二烯单体加入反应液A2中,室温反应,过滤,反应后蒸馏得到三(二烷基胺基)环戊二烯基金属前驱体; 所述金属氧化物选自TiO2、ZrO2和HfO2中的一种;所述三烷基卤化硅烷记作SiR3X;所述SiR3X中R为C1-C6的直链或支链烷基;X为Cl、Br和I中的一种;所述二烷基胺记作NHR'R",所述NHR'R"中R'和R"独立地选自C1-C5的烷基;所述三烷基卤化硅烷与金属氧化物的当量比为8-20:1;所述质子性反应物和金属氧化物的当量比为0.01-4:1;所述二烷基胺与金属氧化物当量比为5-15:1;环戊二烯单体与金属氧化物当量比为0.8-2:1。
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