北京特思迪半导体设备有限公司孟炜涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利环状筒形工件、抛光压盘、抛光设备及抛光面型控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119820455B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-22发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510330256.7，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权环状筒形工件、抛光压盘、抛光设备及抛光面型控制方法是由孟炜涛;郝元龙;曾星明;蒋继乐设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本环状筒形工件、抛光压盘、抛光设备及抛光面型控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种环状筒形工件、抛光压盘、抛光设备及抛光面型控制方法，包括：膨胀腔，所述膨胀腔用于设置在支持盘和抛光盘之间，所述膨胀腔的一端用于连接压力控制源，所述压力控制源根据所述膨胀腔的外侧腔壁的轴向长度、所述外侧腔壁的抗弯刚度、所述外侧腔壁的壁厚、所述外侧腔壁的弹性模量以及泊松比改变输出载荷，以改变所述外侧腔壁的挠度，所述膨胀腔的外侧腔壁用于在挠度增大时向抛光盘传递力矩，使所述抛光盘的抛光面型发生形变。本发明实现了降低对抛光面型的控制难度，同时提高对抛光面型控制的精确度的技术效果。
本发明授权环状筒形工件、抛光压盘、抛光设备及抛光面型控制方法在权利要求书中公布了：1.一种环状筒形工件，其特征在于，包括： 环形的膨胀腔，所述膨胀腔的一端用于连接压力控制源，所述压力控制源根据所述膨胀腔的外侧腔壁的轴向长度、所述外侧腔壁的抗弯刚度、所述外侧腔壁的壁厚、所述外侧腔壁的弹性模量以及泊松比改变输出载荷，以改变所述外侧腔壁的挠度，所述膨胀腔的外侧腔壁用于在挠度增大时向抛光盘传递力矩，使所述抛光盘的抛光面型发生形变。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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